合金膜厚测试仪（膜厚仪）采用最新数学FP法，采用激光自动对焦，并配备有Z轴防冲撞传感器，可防止在对焦时造成一起的损坏。帶測量距離固定的X-射線頭，這一特性提供了能在複雜幾何外形的測試工件和不同測量距離上實現簡便測量的可能性。
合金膜厚测试仪（膜厚仪）的一般技术规格:
1.使用的范围:用于测量薄膜层的厚度及电镀药水中的成份分析.
2.元素范围 :从CL(17)to铀(92),同时可检测多至5个元素,甚至多到24种元素也可检测.
3.测量方向:X射线方向是由上向下的设计.
4.X射线源:钨靶及铍窗口的X-射线管
5.高压: 可调节30KV,40KV,50KV
6.准值器:0.3mm,(选配圆形0.1mm,0.2mm,长方形0.3mm*0.05mm)
7.接收器:比例接收器
8.合金膜厚测试仪（膜厚仪）采用高解像的CCD彩色摄影机来监测测量位置,影像的摄影是与基本X-射线光束在相同的轴上,在对焦方便可作手动或自动对焦,对位的十字线是可以调校其刻度及测量点的大小,而且可以调节照明用的发光二极管的光亮度.
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