太阳能电池等离子刻蚀机:等离子去光阻机

更新时间：2026-09-28 19:15:39

用于太阳能电池硅片边缘刻蚀制程，采用独特的高密度等离子(ICP)，刻蚀速率高，全进口配置组装。等离子去光阻机卷材真空等离子处理系统粉体等离子处理系统微波等离子清洗机台式等离子发生器6XV1830-0EH10

采用电感耦合高密度等离子体(ICP)，能快速去除晶圆上之残留光阻，达到晶圆表面洁净，具有蚀刻率高，无电极污染，离子能量低，不损伤基板等优点。

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