等离子去光阻机:卷材真空等离子处理系统

更新时间：2026-09-28 19:13:00

采用电感耦合高密度等离子体(ICP)，能快速去除晶圆上之残留光阻，达到晶圆表面洁净，具有蚀刻率高，无电极污染，离子能量低，不损伤基板等优点。卷材真空等离子处理系统粉体等离子处理系统微波等离子清洗机台式等离子发生器 6XV1830-0EH10光电开关Q45VR2LV

卷材等离子处理系统,触摸电脑+PLC多步流程全自动控制,全电路检测,用于PTFE/PI薄膜、FPC柔性电路板、电池隔膜等卷筒材料清洗、刻蚀、活化、接枝处理,可选择中频、射频、微波等离子处理模式。

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