等离子去光阻机

	产品型号：	GDR-60G
	产品品牌：	戈德尔
	产品价格：	面议
	所 在 地：	山东 烟台市
	发布日期：	2016-08-08

详细说明

采用电感耦合高密度等离子体(ICP)，能快速去除晶圆上之残留光阻，达到晶圆表面洁净，具有蚀刻率高，无电极污染，离子能量低，不损伤基板等优点。