低温探针台根据测试环境需求完成设计，一般情况下需要根据用户的低温参数要求，以下为基本配置信息，请参考；
一、基本配置信息
1.探针台本体
* 4”、6“、8“真空吸附卡盘
* 消除水份及结霜真空卡盘
* 配置低温环境保护装置
* 滚珠螺杆驱动卡盘装置
* X,Y 行程：100mm(可根据需求选择其它范围)
* Z轴升降装置
* 手动卡盘360度调整
* 显微镜X,Y,Z平台移动行程25mm(可根据需求选择其它范围)
* -40℃至300℃的温度范围内，温度可控（可根据需求选择其它温度范围）
* 热传感器组件控制
* 独立真空管道适合不同晶圆卡盘的尺寸；
* 前端面板控制系统
* 10 liter 液氮瓶
2.DC 探针座 Probe Head(可选其它精度或高频应用探针座)
* 外型尺寸：70 x 50mm
* X,Y行程：12mm
* Z行程：8mm
* 精度：1um
* 仰角调节装置
* 吸附方式：磁开关吸附（真空吸附可选）
3.体式显微镜系统(可选其它倍率光学显微镜)
* Stereo type系列连续变倍体视显微镜
* Eyepiece (目镜) 20X ~ 2 pcs
* Zoom(变倍率) : 0.65X to 4.5X
* Total Mag（总倍率） :10X to 300X
* Working distance（工作距离） : 96mm
* 附加物镜: 0.5X, 1.5X, 2X
* 环型接口＋环形荧光灯8W
* 照相接口、CCD接口、数码相机接口
4.CCD 相机
* 配置 19" 监视器
* 包括图像采集卡等
5.探针夹具tip holder及电缆线
* Tube Holder/1.5m Triax cable/Triax male
6.探针 Probe Tip
* 5 um 探针
7.真空泵
8.屏蔽箱
9.防振桌
10.适配器
11.特殊转接头
* 用于探针杆与外部电测仪器连接使用，安装至屏蔽箱转接板上(Triax to Triax)
12.电学测试设备
二、探针座(Prober Head)选择，可选：直流、高频、微/大电流、高功率、高电压等 |
