LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。
可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
产品系列完整，可选择数字式、模拟式、普通、高精度、高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
特点
模拟式热质式流量计/流量控制器：
环境温度补正
可应用的流率范围广：
0～5、10、20、30、50、100、200、500SCCM
0～1、2、3、5、10、15、20、30SLM
高精度
±1%(≤15SLM)
±1.5%(＞15SLM.)
可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
国际兼容
应用
工业设施的气体供应监测/控制。
气体分析设备。
固定气体流量控制。
气体混合或分离设备
标准 气体质量流量用氮气(N2)标定。
标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入输出
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
规格 (热式) :
功能 流量计/控制器
基本型号 LF400-A
满量程流量范围(N2) SCCM 0～5、10、20、30、50、100、200、500
SLM 0～1、2、3、5、10、15、20、30
精度(％F.S) ±1(≤15SLM)
±1.5(＞15SLM)
控制阀动作型式 常闭式
线性(％F.S) ±0.5～1(≤15SLM)
±1.5％(＞15SLM)
重复精度(％F.S) ±0.2
响应时间(sec) ≤1
流量输出信号 0~5 VDC
流量设定信号 0~5 VDC
电器接头 DB15 pin(接头)
工作环境温度 (℃) 5～45
工作压差 (MPa) 0.05～0.5
漏率 atm.cc/sec He 1×10-9
最大耐压 3MPa
介质接触材质 304、316、316L
密封材料 氟橡胶、硅橡胶、丁腈橡胶、聚四氟乙烯
接头尺寸 VCR 1/4"、1/2"
Swagelok1/8"、1/4" 、3/8" 、1/2"或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
电源要求 +15V,50mA;-15V,200mA
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