产品型号: | LF | |
产品品牌: | LF | |
产品价格: | 面议 | |
所 在 地: | 四川 成都市 | |
发布日期: | 2020-10-22 | |
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详细说明
气体配比器
特点:高精度控制多种气体混合比例,实现不同气体比要求,气路通道:1~8路(根据客户需求设计)。
详细介绍
【性能参数】
气体传输:1- 8种气体 , Swagelok卡套连接
气体类型: 空气、N2, O2 ,CO2,SO2等
进气压力:2 --8bar
出口气体:1--8种
控制阀动作型式:常闭式
响应时间(sec):1S
工作压差:0.05~0.5MPA
最大耐压:3MPA
出口压力:0 --6bar
控制原理:质量流量控制,每个出口单独控制,含温度及湿度休整补偿(由于密度和温度的关系很大,
为 减少误差补偿)
流速:0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30,200SLM
采用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同的气体进行流量量测及控制。
可应用在5SCCM到200SLM的气体流量范围,并且不会受到温度及压力变化的影响
其他流速可选择 ,其他气体可选择
准确性: 优于2%
保护: IP20
数据:输出的数据转换为标准状态下的质量( 1个大气压,0度)
标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa控制显示方式:本地显示控制
特性:气体混气
2,工作要求
2.1气体混气仪器应满足以下工作环境要求:
工作电源: AC 185~265V,50Hz.
工作温度:0~45℃
相对湿度:≤90%
2.2进出口连接:
可以用1/4'或6mm的316l(聚四氟)与气源进行快速连接,并与采样灌进行快速连接
3.特性:
两元气体混和装置,利用多台高精度MFC精密控制气体混合比例,可以混出不同要求的气体比
气体混和精度不受起源压力变化的影响
全耐腐蚀设计,适应所有气体混合(常温无凝结)
调节精度优于+-1%,混和精度优于2%