白光干涉三维轮廓测量仪

放大图片	产品型号：	WIVS-Ⅲ型
	产品品牌：
	当前价格：	面议
	最小起订：	不限
	供货总量：	不限
	所在地：	上海徐汇区
	发布时间：	2011-04-25 11:45

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上海纳腾仪器有限公司

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详细信息

一、用途
（1）二、三维表面形貌测量（2）膜厚和台阶测量
（3）刻线和沟槽尺寸测量（4）任意曲面形貌测量
（5）球面和非球面轮廓非接触测量（6）MEMS器件三维尺寸测量
（7）微光学元件测量
二、仪器构成
（1）宽带光干涉显微镜（2）垂直位移扫描工作台
（3）摄像及图像处理系统（4）工控机
三、测量原理
（1）相移扫描干涉（PSI）（2）垂直扫描白光干涉干涉（VSI）
四、性能指标（基本配置）
（1）垂直测量范围 0～50μm （2）垂直分辨率 1nm
（3）测量区域 0.32mm×0.24mm （4）显微镜数值孔径 0.4
（5）显微镜放大倍数 25× （6）光学分辨率 0.5
（7）表面反射率 1％～100％（8）CCD有效像素 768×576
（9）扫描速度 5μm/s
注：用户可根据需要选择不同放大倍数的显微镜，10×、25×、40×、60×可选择。
五、软件及功能
1 虚拟仪器操作界面，包括：
（1）取样长度选择；（2）评定长度选择；
（3）取样长度内采样点数选择；（4）测量速度选择；
（5）传感器量程的选择；（6）传感器定标。
2 滤波选择
（1）最小二乘中线（面）方法；（2）算术平均中线（面）方法；
（3）多项式方法；（4）高斯方法。
3 评定参数
（1）国家标准6个评定参数；
（2）ISO4287 43个评定参数；
（3）国际上推荐的14个三维评定参数。
4 图形
（1）二维图形，包括原始轮廓曲线、不同滤波方法滤波后轮廓曲线、tp曲线等；
（2）三维图形，包括：轴测图、倒置图、等高图、等截距截面图、面支撑率图、灰度图等。
5 形状误差、波度、表面粗糙度分离评定软件。

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