朗缪尔探针:气体质量流量控制器

更新时间：2026-05-18 01:07:32

朗缪尔探针

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型号：LPS
品牌：
北京飞凯曼公司提供朗缪尔探针测试系统。朗缪尔探针是等离子体性质的诊断方式之一，也是最基本的诊断方式。向等离子体中插入一根极小的电极，然后加上一定的电压，测定通过的电流与所加电压的关系，可以得到探针的电压-电流特性曲线。再根据曲线上的特殊点就可以求得等离子体的密度、电子温度、等离子体电位和悬浮电位。
本公司提供的朗缪尔探针，是根据我们科研工作者长期的扎实的理论研究和实际工艺探索，研制的一套适用于等离子体相关参数测试的装置。近年来，经过国内知名院校和科研单位的实际使用和验证，该仪器具有良好的重复性和准确性，是一款广泛应用于真空等离子领域研究的高性价比的仪器。
产品功能和特点：
探针电压电流自动扫描
Windows图形化显示等离子体参数
自动控制探针移动机构
技术参数：
1.离子/电子密度测量范围：108 - 1012cm-3
2.电子温度测量范围：< 10 eV
3.悬浮电位测量范围：-100V to 100 V
4.空间电位测量范围：-100V to 100 V
5.探针扫描电压-120 to +120V
6.探针电流范围0.25 mA to 200 mA
7.探针扫描电压频率10Hz-20KHz
8.采样速率250 KSPS/ 2M SPS
9.探针材料钨丝，<0.2 mm直径
10.绝缘材料氧化铝/PTFE
11.探针X轴向运动步进电机自动控制
12.探针移动范围：250/500mm
13.探针移动速率：5-20mm/Sec
14.探针移动位置精度：0.5mm
15.外接电源：200-240VAC，50-60Hz
16.控制单元硬件及操作软件：1套
17.自动探针驱动装置：1套
18.单探针探头：1套
19.操作电脑：1套
详细信息请咨询我们。
气体质量流量控制器变温霍尔效应测试仪间隙测量仪孔径测量仪低温探针台应力双折射测试仪

气体质量流量控制器

型号：MFC
品牌：
10MFC-S高精度型气体质量流量控制器
北京飞凯曼公司提供气体质量流量控制器（MFC）。气体质量流量控制器（MFC，Mass Flow Controller），是现代电子设备工艺气体流量控制的必不可少的控制单元。
气体质量流量控制器的原理和应用质量流量控制器用于对各种气体的质量流量进行精密测量和控制，大量用于电子工艺设备（如扩散、氧化、外延、ＣＶＤ、等离子刻蚀、溅射等）以及镀膜设备、光导纤维制造中；并广泛用于石油化工、冶金、制药等行业。它通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制器和分流器通道等组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源盒提供。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量流过气体的质量流量，具有温度、压力囱动补偿特性。
产品功能和特点：
高精度<0.2%FS
最高三年质保
技术参数：
1.量程：20/50/100/250/500/1000/3000 sccm
2.气体类型：非腐蚀性气体 e.g. N2, O2, Air, CO2, Ar, He, H2
3.测量精度：
N2, 25°C, 1 bar:
≤ ± 0.2 % F.S. 对于 0...10% F.S.
≤ ± 1 % O.R. 对于 10...100% F.S.
4.长期稳定性：± 0.25 % F.S. /年
5.工作温度：0-50 oC
6.气体压力：0.5-3 Bar
7.输入输出：0…5 V
8.气管接头：¼ 不锈钢卡套
9.漏率：Helium Leak check <10-10 mbar l/s
10.电源：+12-24V
11.响应时间：<800 ms
详细信息请咨询我们。

11MFC-T超快响应型气体质量流量控制器
北京飞凯曼公司提供气体质量流量控制器（MFC）。气体质量流量控制器（MFC，Mass Flow Controller），是现代电子设备工艺气体流量控制的必不可少的控制单元。
气体质量流量控制器的原理和应用质量流量控制器用于对各种气体的质量流量进行精密测量和控制，大量用于电子工艺设备（如扩散、氧化、外延、ＣＶＤ、等离子刻蚀、溅射等）以及镀膜设备、光导纤维制造中；并广泛用于石油化工、冶金、制药等行业。它通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制器和分流器通道等组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源盒提供。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量流过气体的质量流量，具有温度、压力囱动补偿特性。
产品功能和特点：
超快响应速度 <200 mS【常规 >1-2S】
最高三年质保
技术参数：
1.量程：20/50/100/250/500/1000 sccm
2.气体类型：非腐蚀性气体 e.g. N2, O2, Air, CO2, Ar, He, H2
3.测量精度：
N2, 25°C, 1 bar:
≤ ± 0.5 % F.S. 对于 0...10% F.S.
≤ ± 2 % O.R. 对于 10...100% F.S.
4.长期稳定性：± 0.25 % F.S. /年
5.工作温度：0-50 oC
6.气体压力：0.5-3 Bar
7.输入输出：0…5 V
8.气管接头：¼ 不锈钢卡套
9.漏率：Helium Leak check <10-10 mbar l/s
10.电源：+12-24V
11.响应时间：<200 ms
详细信息请咨询我们。