气体质量流量控制器:变温霍尔效应测试仪

更新时间：2026-05-18 01:07:33

气体质量流量控制器

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型号：MFC
品牌：
10MFC-S高精度型气体质量流量控制器
北京飞凯曼公司提供气体质量流量控制器（MFC）。气体质量流量控制器（MFC，Mass Flow Controller），是现代电子设备工艺气体流量控制的必不可少的控制单元。
气体质量流量控制器的原理和应用质量流量控制器用于对各种气体的质量流量进行精密测量和控制，大量用于电子工艺设备（如扩散、氧化、外延、ＣＶＤ、等离子刻蚀、溅射等）以及镀膜设备、光导纤维制造中；并广泛用于石油化工、冶金、制药等行业。它通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制器和分流器通道等组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源盒提供。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量流过气体的质量流量，具有温度、压力囱动补偿特性。
产品功能和特点：
高精度<0.2%FS
最高三年质保
技术参数：
1.量程：20/50/100/250/500/1000/3000 sccm
2.气体类型：非腐蚀性气体 e.g. N2, O2, Air, CO2, Ar, He, H2
3.测量精度：
N2, 25°C, 1 bar:
≤ ± 0.2 % F.S. 对于 0...10% F.S.
≤ ± 1 % O.R. 对于 10...100% F.S.
4.长期稳定性：± 0.25 % F.S. /年
5.工作温度：0-50 oC
6.气体压力：0.5-3 Bar
7.输入输出：0…5 V
8.气管接头：¼ 不锈钢卡套
9.漏率：Helium Leak check <10-10 mbar l/s
10.电源：+12-24V
11.响应时间：<800 ms
详细信息请咨询我们。

11MFC-T超快响应型气体质量流量控制器
北京飞凯曼公司提供气体质量流量控制器（MFC）。气体质量流量控制器（MFC，Mass Flow Controller），是现代电子设备工艺气体流量控制的必不可少的控制单元。
气体质量流量控制器的原理和应用质量流量控制器用于对各种气体的质量流量进行精密测量和控制，大量用于电子工艺设备（如扩散、氧化、外延、ＣＶＤ、等离子刻蚀、溅射等）以及镀膜设备、光导纤维制造中；并广泛用于石油化工、冶金、制药等行业。它通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制器和分流器通道等组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源盒提供。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量流过气体的质量流量，具有温度、压力囱动补偿特性。
产品功能和特点：
超快响应速度 <200 mS【常规 >1-2S】
最高三年质保
技术参数：
1.量程：20/50/100/250/500/1000 sccm
2.气体类型：非腐蚀性气体 e.g. N2, O2, Air, CO2, Ar, He, H2
3.测量精度：
N2, 25°C, 1 bar:
≤ ± 0.5 % F.S. 对于 0...10% F.S.
≤ ± 2 % O.R. 对于 10...100% F.S.
4.长期稳定性：± 0.25 % F.S. /年
5.工作温度：0-50 oC
6.气体压力：0.5-3 Bar
7.输入输出：0…5 V
8.气管接头：¼ 不锈钢卡套
9.漏率：Helium Leak check <10-10 mbar l/s
10.电源：+12-24V
11.响应时间：<200 ms
详细信息请咨询我们。
变温霍尔效应测试仪间隙测量仪孔径测量仪低温探针台应力双折射测试仪精密划片机

变温霍尔效应测试仪

型号：HALL8686
品牌：
北京飞凯曼公司提供连续变温霍尔效应测试仪。台湾SWIN公司生产的变温霍尔效应测试仪 (Hall Effect Measurement System)是性能稳定、功能强大、性价比高的霍尔效应仪，在国内高校、研究所及半导体业界拥有广泛的用户和知名度。本仪器轻巧方便，易于携带，主要用于量测电子材料之重要特性参数，如载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等，薄膜或体材料均可，其原理主要依据范德堡法则。
除了用来判断半导体材料之型态(n或p)以外，它也可应用于LED磊晶层的质量判定，也可以用来判断在HEMT组件中二维电子气是否形成，此未还可以用于太阳能电池片的制程辅助。
Hall8686可说是一套功能强大、应用广泛的系统，Hall8686是在Hall8800的基础上增加了温度控制的功能，成为部分高端科研客户的理想选择。SWIN一直秉承平实的价格，相信必能受到各界用户之肯定与爱用。目前广泛应有于台湾半导体厂商。
主要特点
1、高精密度电流源
输出电流之精确度可达1nA，如此微小之电流可用于半绝缘材料之量测，即高电阻值材料之量测。
2、高精密度电表
使用超高精度电表，电压量测能力可达nV等级，上限可达300V，极适合用于量测低电阻值材料。
3、外型精简、操作简单
外型轻巧、美观大方，磁铁组之极性更换也很灵活容易，独特之液氮容器设计，可确保低温量测之稳定性最佳。
4、I-V曲线
采用图表的方式，测量探针四点(A、B、C、D)间电流-电压曲线，藉此评判样品的欧姆接触好坏。
5、单纯好用之操作画面
使用者只需在同一张操作画面中，就可以完成所有的设定，实验结果由软件自动计算得到，并在同一张画面中显示出来，省却画面切换的麻烦，结果可同时得到体载流子浓度(Bulk Carrier Concentration)、表面载流子浓度(Sheet Carrier Concentration)、迁移率(Mobility)、电阻率(Resistivity)、霍尔系数(Hall Coefficient)、等重要实验数据。
6、自行开发之弹簧样品夹具，特殊设计之弹簧探针，其强度加强可改善探针与接触点之电气接触，提高量测之可靠度。
技术参数
磁场强度：0.53T;
温度测试范围：77K-423K，77K-623K可选，温度准确度+/-0.5度；
输出电流：1nA-100mA;
迁移率(cm2/Volt-sec):1-107
阻抗(Ohms.cm):10-5 to 107
载流子浓度(cm-3):107 - 1021
样品尺寸：5-15mm，厚度1mm
样品夹具：Hall8686弹簧样品夹具(免去制作霍尔样品的麻烦)；
测量材料：所有半导体材料包括Si,ZnO,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP,GaN(N型&P型均可测量)
仪器尺寸(WxDxH)：400*360*200 mm
仪器重量：15kg