薄膜应力测试仪:朗缪尔探针

更新时间：2026-05-18 01:07:32

薄膜应力测试仪

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型号：FST150
品牌：
北京飞凯曼科技公司提供薄膜应力测试仪。薄膜应力测试仪，又名薄膜残余应力测试仪或薄膜应力仪，是专门用于测试和研究薄膜材料和薄膜制备工艺的必不可少的工具。
薄膜中应力的大小和分布对薄膜的结构和性质有重要的影响, 可导致薄膜的光、电、磁、机械性能改变. 例如, 薄膜中的应力是导致膜开裂或与基体剥离的主要因素, 薄膜中存在的残余应力很多情况下影响MEMS 器件结构的特性, 甚至严重劣化器件的性能, 薄膜的内应力对薄膜电子器件和薄膜传感器的性能有很大的影响.因此, 薄膜应力研究在薄膜基础理论和应用研究中起到重要的作用, 薄膜应力的测量备受关注。再例如在硬质薄膜领域，金属氮化物、氧化物、碳化物等硬质薄膜因具有优越的耐磨、耐腐蚀等特性，被广泛应用于金属材料的防护．硬质薄膜的主要制备方法包括物理气相沉积和化学气相沉积技术．研究发现，沉积态硬质薄膜中存在较大的残余应力，而且沿层深分布不均匀；该残余应力对硬质薄膜一基体系统的性能影响很大-lJ_精确地测量硬质薄膜的残余应力，系统研究它与沉积工艺的关系，对优化硬质薄膜基体系统的性能具有重要的意义．
本公司提供的薄膜应力测试仪基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进控制技术和傻瓜化的操作，使得FST150薄膜应力测量仪特别适合于要求快速测量常规薄膜残余应力。根据我们科研工作者长期的扎实的理论研究和实际工艺探索，研制的一套适用于各种薄膜应力测试的装置。近年来，经过国内知名院校和科研单位的实际使用和验证，该仪器具有良好的重复性和准确性，是一款广泛应用于各领域薄膜制备和材料研究的高性价比的仪器。
产品功能和特点：
自动采集分析数据功能；
自动扫查样品边缘，定位样品中心；
自动计算出曲率半径值和薄膜应力值；
对原始表面不平直的基片表面的薄膜，可采取原位测量的方式，计算薄膜应力值。
技术参数：
1.原理：曲率法Stoney公式
2.薄膜应力测量范围：5MPa到50GPa；
3.曲率半径测试范围：0.3-20m
4.曲率半径测试误差：﹤±1%
5.薄膜应力计算误差：﹤±2%
6.测试平台行程：X方向100mm，Y方向50mm
7.样品尺寸：长方形样品
8.样品定位：自动定位原点
9.样品校正：可计算校正原始表面不平直影响
10.主要功能：自动测量采集计算曲率半径和薄膜应力
11.控制：独立PC及控制软件
12.仪器尺寸：1500x380x360mm
详细信息请咨询我们。
朗缪尔探针气体质量流量控制器变温霍尔效应测试仪间隙测量仪孔径测量仪低温探针台

朗缪尔探针

型号：LPS
品牌：
北京飞凯曼公司提供朗缪尔探针测试系统。朗缪尔探针是等离子体性质的诊断方式之一，也是最基本的诊断方式。向等离子体中插入一根极小的电极，然后加上一定的电压，测定通过的电流与所加电压的关系，可以得到探针的电压-电流特性曲线。再根据曲线上的特殊点就可以求得等离子体的密度、电子温度、等离子体电位和悬浮电位。
本公司提供的朗缪尔探针，是根据我们科研工作者长期的扎实的理论研究和实际工艺探索，研制的一套适用于等离子体相关参数测试的装置。近年来，经过国内知名院校和科研单位的实际使用和验证，该仪器具有良好的重复性和准确性，是一款广泛应用于真空等离子领域研究的高性价比的仪器。
产品功能和特点：
探针电压电流自动扫描
Windows图形化显示等离子体参数
自动控制探针移动机构
技术参数：
1.离子/电子密度测量范围：108 - 1012cm-3
2.电子温度测量范围：< 10 eV
3.悬浮电位测量范围：-100V to 100 V
4.空间电位测量范围：-100V to 100 V
5.探针扫描电压-120 to +120V
6.探针电流范围0.25 mA to 200 mA
7.探针扫描电压频率10Hz-20KHz
8.采样速率250 KSPS/ 2M SPS
9.探针材料钨丝，<0.2 mm直径
10.绝缘材料氧化铝/PTFE
11.探针X轴向运动步进电机自动控制
12.探针移动范围：250/500mm
13.探针移动速率：5-20mm/Sec
14.探针移动位置精度：0.5mm
15.外接电源：200-240VAC，50-60Hz
16.控制单元硬件及操作软件：1套
17.自动探针驱动装置：1套
18.单探针探头：1套
19.操作电脑：1套
详细信息请咨询我们。