空气臭氧分析仪:中科院RFG射频电源与SP自动匹配器

更新时间：2026-08-28 10:33:32

空气臭氧分析仪

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型号：SBL
品牌：赛宝伦
该分析仪是用于监测和显示大气中臭氧的浓度。仪器采用紫外线吸收法的原理，用稳定的紫外灯光源产生紫外线，用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光，只允许波长253.7nm通过，再先后经过样品光电传感器和臭氧吸收池，并被臭氧洗手池吸收后到达采样光电传感器。通过样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较，再经过数学模型的计算，就能得出臭氧浓度大小。
　　该设备精确度高、稳定性好、可以连续工作；其测量范围宽，还可与臭氧发生器，PID调节器组成臭氧闭环自动控制系统，以实现全方位的立体监测功能。
　　
技术参数：
测量方法紫外吸收法
测量范围 0.000-1.000ppm（取决于设定规格）
零点偏移 ±0.1ppb/24小时，±1%/7天
量程偏移 ±0.5%/24小时，±1%/7天
转换输出电压 0-5V
精密度 ±0.001ppm
线性相关整个量程的±1%
最低检测限 0.0001ppm
重现性整个量程的±0.5%
干扰 ±0.001ppm
升/降时间（95%）＜20s
温度范围 0-40℃
尺寸（高×宽×深） 178mm×482mm×680mm
重量 25kg
额定电压 200V/60Hz或100V/60Hz
功率＜260W
采样泵 200V/60Hz或100V/60Hz
选项 RS232C/RS422/打印机端口，零位调节阀

产品特点：
（1）采用80186 微机控制器，性能稳定；
（2）采用直观的用户选择菜单，方便操作，且具有演示功能；
（3）采用RS-232C双接通讯口；
（4）开发出以用户为中心的软件，可防止存储丢失；
（5）可自检，自动调零/跨度校准；
（6）可实现样品温度/压力补偿，可电子测量流量和压力；
（7）可实现看门狗功能；
（8）当出现故障时，可显示警告信息。中科院RFG射频电源与SP自动匹配器中国科学院KW-4A/5型高性价比匀胶机 LED膜厚仪Microvision 人体工学显示器量测系统 Topcon分光辐射度计近场探头（DC-9GHz）

中科院RFG射频电源与SP自动匹配器

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销售热线:18500193075(秦威)
固定电话: 010-82995634(秦威)
E-MAIL: qinwei@ime.ac.cn
QQ: 2350573414
传真: 010-84025539
地址:北京市朝阳区北土城西路3号
网址:www.rf-power.net
作为中科院微电子所(www.rf-power.net)最新一代晶体管射频电源(RFG系列)：
1.控制方式更灵活：全数字面板/模拟口/RS232/RS485/USB控制
2.使用寿命更长,功率控制更精密,功率输出更稳定,频率精度更高
3.真彩色大屏幕液晶显示正向功率反向功率
4.最低可实现1W的稳定功率输出
5.开机无需预热
6.具有外部时钟同步(CEX)功能，可同步多台电源并克服之间的相互干扰
中科院SP型自动匹配器产品特点及主要性能指标：
　　　　1、自动快速调节匹配网络
　　　　2、实时显示入射功率及反射功率变化，指示精度 3%
　　　　3、显示自偏压
　　　　4、实时显示电容位置变化，可明显展示工艺阻抗变化的特征
　　　　5、采用真空电容调节（1KW以上）
　　　　6、具有自动控制和手动控制两种模式
　　　　7、电压输入: 220v
　　　　8、提供配合射频电源的反射功率保护信号，与射频电源配合使用
　　　　9、直流电机驱动，保证运行期间合适的速率，从而提高匹配网络的稳定性

中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功，获得"六五"攻关荣誉证书以及"FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究"项目二等奖。
从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项（国家02重大专项）资金支持，研发晶体管射频电源，2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz)，获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。
经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。
目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。

射频电源广泛应用于等离子体研究，集成电路工艺设备，太阳能光伏工业，LED制程，薄膜生长，感应加热，医疗领域的消毒与理疗，等离子清洗等领域。
产品现已售往北京、上海、杭州、苏州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的几十所高校、科研单位及半导体设备厂等高技术公司，得到用户的一致好评。