中科院RFG射频电源与SP自动匹配器:中国科学院KW-4A/5型高性价比匀胶机

更新时间：2026-08-28 11:06:27

中科院RFG射频电源与SP自动匹配器

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型号：
品牌：
销售热线:18500193075(秦威)
固定电话: 010-82995634(秦威)
E-MAIL: qinwei@ime.ac.cn
QQ: 2350573414
传真: 010-84025539
地址:北京市朝阳区北土城西路3号
网址:www.rf-power.net
作为中科院微电子所(www.rf-power.net)最新一代晶体管射频电源(RFG系列)：
1.控制方式更灵活：全数字面板/模拟口/RS232/RS485/USB控制
2.使用寿命更长,功率控制更精密,功率输出更稳定,频率精度更高
3.真彩色大屏幕液晶显示正向功率反向功率
4.最低可实现1W的稳定功率输出
5.开机无需预热
6.具有外部时钟同步(CEX)功能，可同步多台电源并克服之间的相互干扰
中科院SP型自动匹配器产品特点及主要性能指标：
　　　　1、自动快速调节匹配网络
　　　　2、实时显示入射功率及反射功率变化，指示精度 3%
　　　　3、显示自偏压
　　　　4、实时显示电容位置变化，可明显展示工艺阻抗变化的特征
　　　　5、采用真空电容调节（1KW以上）
　　　　6、具有自动控制和手动控制两种模式
　　　　7、电压输入: 220v
　　　　8、提供配合射频电源的反射功率保护信号，与射频电源配合使用
　　　　9、直流电机驱动，保证运行期间合适的速率，从而提高匹配网络的稳定性

中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功，获得"六五"攻关荣誉证书以及"FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究"项目二等奖。
从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项（国家02重大专项）资金支持，研发晶体管射频电源，2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz)，获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。
经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。
目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。

射频电源广泛应用于等离子体研究，集成电路工艺设备，太阳能光伏工业，LED制程，薄膜生长，感应加热，医疗领域的消毒与理疗，等离子清洗等领域。
产品现已售往北京、上海、杭州、苏州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的几十所高校、科研单位及半导体设备厂等高技术公司，得到用户的一致好评。
中国科学院KW-4A/5型高性价比匀胶机LED膜厚仪 Microvision 人体工学显示器量测系统Topcon分光辐射度计近场探头（DC-9GHz）布鲁克台阶仪(Dektak台阶仪)

中国科学院KW-4A/5型高性价比匀胶机

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地址:北京市朝阳区北土城西路3号
网址:www.rf-power.net
中科院微电子所KW型匀胶机（www.rf-power.net）适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点，并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配无油真空泵一起使用。经过20多年的发展，目前产品占国内市场的70%以上。目前的型号有KW-4A型和KW-5型。
产品主要特点：
　　1、开关电流调速，稳定性能更好，转速调节以数字显示为准。
　　2、转速在500～8000转／分范围内非常稳定。　　
　　3、采用双转速。在启动之后，先以低速运转，使胶摊开，然后自动转换到高速运转。两种转速及相应的时间分别可调，时间分别控制在1～18秒和3秒～1分钟。
　　4、具有定时功能。
　　5、测速采用光电的办法，产生光电脉冲，由晶体分频测速准确性高。
　　6、"吸片"采用电磁阀控制气路，一个气泵可同时带几台匀胶机工作，适合流水线的工艺，提高了效率。　　
　　7、在安装结构上，采取了减振措施，保证了在运转时噪音低。