（光致发光）光谱仪:光致发光光谱成像测量系统

更新时间：2026-01-16 13:58:12

（光致发光）光谱仪

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型号：PL-Mapping
品牌：zolix
光致荧光光谱测量是半导体材料特性表征的一个被普遍认可的重要测量手段。MiniPL为模块化设计、计算机自动控制的高灵敏度、宽带隙小型PL（光致荧光）光谱仪；MiniPL采用Photon Systems公司自行研发的深紫外激光器224nm(5.5eV)或248.6nm(5eV)作为激发光源，配合独特的光路设计，采用高灵敏度PMT作为探测器件，并通过仪器内置的门闸积分平均器（Boxcar）进行数据处理，实现微弱脉冲信号的检测。MiniPL可被用表征半导体材料掺杂水平分析、合成组分分析、带隙分析等，不仅可用于科研领用，更可用在半导体LED产业中的品质检测。
主要规格特点：
■ 采用5.5(224nm)或5.0 eV(248.6nm)深紫外激光器
■ 室温PL光谱测量范围：190~650nm（标准），190~850nm（选配）
■ 高分辨率：0.2nm（@1200g/mm光栅，标配），
0.07nm（@3600g/mm光栅，选配）
■ 门闸积分平均器（Boxcar）进行微弱脉冲信号的检测
■ 可实现量子效率测量
■ 基于LabView的界面控制
■ 光谱分析软件可获得光谱带宽、峰值波长、峰值副瓣鉴别、光谱数据运算、归一化等
■ 最大可测量50mm直径样品，样品可实现XYZ三维手动调整（标准）
■ 可选配自动样品扫描装置，实现Mapping功能
■ 可用于紫外拉曼光谱测量
■ 高度集成化，体积：15 ×18 × 36cm，重量：<8kg光致发光光谱成像测量系统荧光光谱测量系统光致发光光谱测量系统太阳能电池QE/IPCE(量子效率)测量系统薄膜太阳能电池材料光谱响应测量系统DL7M—12L超大容量冷冻离心机

光致发光光谱成像测量系统

型号：PMEye-3000
品牌：zolix
PMEye-3000光致发光光谱成像（PL-Mapping）测量系统是卓立汉光最新研制的，用于LED外延片、半导体晶片、太阳能电池材料等，在生产线上的质量控制和实验室中的产品研发检测。该系统对样品的PL谱进行Mapping二维扫描成像，扫描结果以3D方式进行显示，使检测结果更易于分析和比较。该系统的软件窗口界面友好，操作简单，只需简单培训就能使用。

测试原理：
PL（光致发光）是一种辐射复合效应。在一定波长光源的激发下，电子吸收激发光子的能量，向高能级跃迁而处于激发态。激发态是不稳定的状态，会以辐射复合的形式发射光子向低能级跃迁，这种被发射的光称为荧光。荧光光谱代表了半导体材料内部，一定的电子能级跃迁的机制，也反映了材料的性能及其缺陷。PL是一种用于提供半导体材料的电学、光学特性信息的光谱技术，可以研究带隙、发光波长、结晶度和晶体结构以及缺陷信息等等。
应用领域举例：
LED外延片，太阳能电池材料，半导体晶片，半导体薄膜材料等检测与研究。

主要特点：
◆ PLMapping测量
◆ 多种激光器可选
◆ Mapping扫描速度：180点/秒
◆ 空间分辨率：50um
◆ 光谱分辨率：0.1nm@1200g/mm
◆ Mapping结果以3D方式显示
◆ 最大8吋的样品测量
◆ 样品精确定位
◆ 样品真空吸附
◆ 可做低温测量
◆ 膜厚测量