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光致发光光谱成像测量系统


光致发光光谱成像测量系统
产品型号: PMEye-3000
产品品牌: zolix
产品价格: 面议
所 在 地: 北京 通州区
发布日期: 2017-01-12

详细说明

PMEye-3000光致发光光谱成像(PL-Mapping)测量系统是卓立汉光最新研制的,用于LED外延片、半导体晶片、太阳能电池材料等,在生产线上的质量控制和实验室中的产品研发检测。该系统对样品的PL谱进行Mapping二维扫描成像,扫描结果以3D方式进行显示,使检测结果更易于分析和比较。该系统的软件窗口界面友好,操作简单,只需简单培训就能使用。

测试原理:
PL(光致发光)是一种辐射复合效应。在一定波长光源的激发下,电子吸收激发光子的能量,向高能级跃迁而处于激发态。激发态是不稳定的状态,会以辐射复合的形式发射光子向低能级跃迁,这种被发射的光称为荧光。荧光光谱代表了半导体材料内部,一定的电子能级跃迁的机制,也反映了材料的性能及其缺陷。PL是一种用于提供半导体材料的电学、光学特性信息的光谱技术,可以研究带隙、发光波长、结晶度和晶体结构以及缺陷信息等等。
应用领域举例:
LED外延片,太阳能电池材料,半导体晶片,半导体薄膜材料等检测与研究。

主要特点:
◆ PLMapping测量
◆ 多种激光器可选
◆ Mapping扫描速度:180点/秒
◆ 空间分辨率:50um
◆ 光谱分辨率:0.1nm@1200g/mm
◆ Mapping结果以3D方式显示
◆ 最大8吋的样品测量
◆ 样品精确定位
◆ 样品真空吸附
◆ 可做低温测量
◆ 膜厚测量