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产品型号： | |
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| 产品价格： | 面议 | |
| 所 在 地： | 福建 厦门市 | |
| 发布日期： | 2014-06-11 | |
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详细说明
来自于镀膜工艺方面的技术难题
系统的本底压力在 10-7 mbar的范围
稳定的工艺压力在 10-3 mbar的范围
必须具有高氩气负载能力
大量热量的产生
来自于环境以及系统运行中的技术难题
必须保持高产量的客观事实
湿度及冷凝水
颗粒及混合物
系统整合控制需求
系统自我早期诊断需求
精确的转子设计
温度的监视及控制
内置保护装置 (喷吹/放气)
工业级的耐用性外壳设计
内置的早期自我诊断系统