石英晶片清洗机

	产品型号：
	产品品牌：	丰源
	产品价格：	面议
	所 在 地：	广东 深圳市
	发布日期：	2018-01-13

详细说明

石英晶片清洗机
（FYA-6060FJ）
本机特点：
1．为达到良好的漂洗效果，在1，3槽洗剂超声波清洗后，进入一道纯水喷淋漂洗+超声波漂洗，将大部分的脏物及洗剂排走，保正工件洁净度，以免进入5槽热兆声波漂洗时产生二次污染.
2．为减少洗剂槽的清洗液（1槽碱液，3槽弱酸液带少量的挥发性）对整个机台的气味及浓度扩散，在1,3槽体上部设计单独抽风系统，以保证机台内部的空气洁净度，以免工件清洗完成后引起空气中的二次污染。
3．为保证超声清洗工件的均匀性，在漂洗槽体底部安装有氮气搅拌系统，氮气搅拌时间及强度可调。
4. 为保证纯水流洗槽（2，4槽）的喷淋稳定，在这2，4槽的槽体后部都连有一副槽，实现纯水的保有量以保证喷淋系统的正常运行。
5.为保证工件最后的洁净度第五槽清洗采用兆声级超声波。在许多高技术产品的生产过程中需要清除粒径小于微米的污垢粒子，都用到兆声级超声波。（例如大规模集成电路硅片、硬磁盘和光刻掩蔽膜的清洗）兆声级超声波的清洗不是利用超声波的空化作用，而是依靠超声波产生的声速梯度、粒子速度及声流作用使细小颗粒脱离工件表面，利用高频超声波清洗具有不损伤清洗工件表面，可去除粒径微小污垢的特点。
6.洗净后的工件在IPA槽进行振洗及脱水，干燥速度更快，脱水效果更彻底。

一．设备名称：石英晶体清洗机
二．设备型号：FYA-6060FJ
三．设备用途：用于洗净石英晶体外表面的油污以及其它污物，并对工件进行脱水处理；
四．设备工作节拍：1秒～60分钟任意可调；
五．设备处理流程：
人工放篮，自动上篮 →①超声波碱洗 →②纯水流洗+超声漂洗 →③超声波酸洗 →④纯水流洗+超声漂洗→⑤兆声波精洗 →⑥IPA振洗 →⑦自动出篮，人工取篮
六．设备配套条件要求：（需要由需方提供配套）
6.1摆放环境：千级净化车间；
6.2净化水（超纯水）：电阻率≥17.5MΩ/cm（25℃），流量≥1.5m3/ H，；
 6.3压缩空气：压力≥0.6MPa，流量≥1.0m3/ min；
6.4氮气：纯度≥99.5%，压力≥0.5MPa，流量≥0.5m3/ min；
6.5电源要求：380VAC±10%，3P5W，50Hz；
七．设备使用成本：
    7.1电消耗量：约36KW/ H；
7.2净化水消耗量：约1.5m3/ H；
7.3除油剂消耗量：（具体视清洗液更换频率定）
7.4氮气消耗量：0.5m3/ min；
7.5压缩空气消耗量：0.5m3/ min； 
八．设备主要技术要求：
8.1设备概述：
FYA-6060FJ石英晶体清洗机整个工作过程由PLC自动控制，设备主线由6个功能槽组成，采用成熟的环保型全水剂清洗工艺。其工作原理是利用超声波特有的空化效应并结合清洗剂的除污作用使工件表面达到高洁净要求后，再采用IPA对工件进行有效脱水。
清洗区配置不同频率段的超声波清洗工位，由低频转向高频进行步进式清洗，可保证工件清洗后的洁净度。
该机除需人工在设备进出料处放、取清洗篮外，其余工作全部由设备自行完成。
该机为全封闭型，外观造型美观大方。设置触摸屏操作界面，具备自动和手动转换功能。电控部分采用进口优质件，性能稳定。设备具有自动化程度高、洗净效果好、清洗速度快、机动性强、使用方便、外形美观、结构合理、使用寿命长等特点，是理想的石英晶体行业高要求洗净干燥设备。
8.2 清洗工艺配置：
槽号 工序方法 处理介质 超声波 氮气搅拌 加热功率 过滤精度
槽体   储液箱   
1 超声波碱洗 碱液 600W  28KHz 3KW 10μ
2 纯水流洗+超声洗 纯水 600W  40KHz 有 3KW 9KW 5μ
3 超声酸洗 弱酸 600W  28KHz 3KW 10μ
4 纯水流洗 纯水 600W  135KHz 有 3KW 5μ
5 兆声波精洗 纯水 600KW 兆声波 有 /
6 IPA振洗 IPA 600W  40KHz 有 自来水冷切 1μ
8.3 工艺控制：
8.3.1工位处理时间：初始设置工作节拍10分钟/篮，具体时间可在1秒钟～60分钟范围内调整；
8.3.2工位处理温度：清洗工位，常温～100℃可调；第二槽纯水喷淋工位， 50℃以上，10min；
8.3.3超声波功率可调并有仪表显示；
8.3.4设有加热预约功能，减少开机后加热等待时间，提高设备的工作效率；
8.4 保护功能：
8.4.1低液位保护；
    8.4.2洗液超温保护；
8.4.3电机工作过流、超载保护；
8.4.4清洗篮卸料提示并报警；
8.4.5控制面板及机身设急停按钮；
九．设备技术参数：
9.1待洗工件
9.1.1待洗净物：石英晶体；
9.1.3处理目的：彻底洗净石英晶体工件外表面的油污及其它脏物并对工件做脱水处理；
9.2工装方式： 
9.2.1摆放方式：工件摆放在清洗杯内，清洗杯单层放入清洗挂母篮内；
9.2.2清洗篮外形尺寸：（长×宽×深）216×375×205/mm；
9.2.3清洗篮结构：采用不锈钢钢枝制作；
9.2.4清洗篮配置数量：10个；