硅料腐蚀清洗设备价格咨询、批发

放大图片	产品型号：	ES1000
	产品品牌：	E-Switch
	当前价格：	100000元/台
	最小起订：	1台
	供货总量：	1000
	所在地：	上海徐汇区
	发布时间：	2019-02-25 10:10

	查看更多其它专用仪器供应信息

上海申源科学仪器有限公司

联系人：唐慧锋先生((销售))

电话：021-61506118

手机：15721277779

传真：021-51685138

地址：上海市徐汇区中山西路2368号1205室

邮编：201610

网址：http://www.fd17.com/sunrise02117/

E-mail：1251275152@qq.com

详细信息

硅晶片清洗腐蚀设备 ES1000 100000
产品信息：
广泛用于IC生产及半导体元器件生产中晶片的湿法化学工艺；
有效去除晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性；模块化设计，可根据客户工艺设计组合。
此设备用于1-6"（英寸）硅晶片的工艺处理湿洗过程中，去除工件表面的油污及其他有机物、除胶、去金属离子等。
设备由五大部分组成：
1.清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。
2.清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。
3.关键件采用进口件，包括气动阀，PFA管道，全氟循环系统，保证工作介质（酸、碱）的洁净度，避免杂质析出。
4.工艺过程全自动，机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制，可存储多条工艺时序，方便使用。
5.人机界面为触摸屏，方便直观。
除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成。
非标准化设备，所有设备参数均根据客户的具体需求定制设计！！请与客服联系~~

本企业其他产品

更多>>