概要
MT-30A系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量测量及控制。
可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高精度，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
特点
o 模拟式热质式流量计/流量控制器：
- 低单价
- 环境温度补正
- 可应用的流率范围广：
- 0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
- 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
o 高精度
±1%(≤15SLM)
±2%(＞15SLM.)
o 可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
o 国际兼容
应用
o 工业设施的气体供应监测/控制。
o 气体分析设备。
o 固定气体流量控制。
o 气体混合或分离设备
标准 气体质量流量用氮气(N2)标定。
标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
流量范围是以mL/min，L/min 为单位
例：
5mL/min 表示为005
500mL/min表示为500
50 L/min(nor) 表示为50L
规格 (热式)
功能 流量计/控制器
基本型号 MT-30A
满量程流量范围(N2) SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500
SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S) ±1(≤15SLM)
±2(＞15SLM.)
控制阀动作型式 常闭式
线性(％F.S.) ±0.5～1(≤15SLM)
±2％(＞15SLM.)
重复精度(％F.S.) ±0.2
响应时间(sec) ≤1
流量输出信号 0-+5.00V
流量设定信号 0-+5.00V
电器接头 DB15 pin(接头)
工作环境温度 (℃) 5～45
工作压差 (MPa) 0.1～0.5
漏率 SCCSHe 1×10-9
******耐压 3MPa
介质接触材质 304，316，316L
密封材料 氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯
接头 VCR " 1/4、1/2
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接头和尺寸 Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm
1/4"VCR:127×28×100mm
电源要求 +15V,50mA;-15V,200mA
重量 0.75KG
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