1. 用途和特点
流量显示仪用于为气体质量流量控制器 (MFC)和质量流量计 (MFM) 提供工作电源、操作控制、流量设定和流量数字显示等。可直接与我司质量流量控制器和质量流量计配套使用。同时原则上也可以与世界上其它型号的质量流量控制器和质量流量计配合使用。
流量显示仪采用小型塑料机壳, 体积较小, 便于安装。流量输入输出信号, 除了具有标准的0~+5V 信号外, 还有4~20mA 或0~10mA 的电流信号。
1A 型流量显示仪带有流量设定和阀控功能, 可与质量流量控制器和质量流量计配套使用。
1AM 型无设定和阀控功能, 专为质量流量计配套使用。
2. 主要技术指标
2.1 1A、1AM 型流量显示仪
1A流量显示仪技术指标
1 输出电源 +15V±5% 400mA -15V±5% 400mA
2 基准源 +5.00V±0.1% 5mA
3 供电电源 ~165－265V (或~85－265V) 50Hz
4 ***da功耗 10 W
5 输入输出信号电压信号: 0 ~ +5V电流信号: 4~20mA(或0~10mA)
输出电压: 0 ~ +5V输出电流: 4~20mA(或0~10mA)
6 外形尺寸 96×96×155 mm
7 重量 1 Kg
8 控制通道 1路MFC 1路MFM(无阀控和设定)
表 2. 1AM 型流量显示仪技术指标
1 输出电源 +15V±5% 400mA -15V±5% 400mA
2 供电电源 ~165V－265V (或~85V－265V) 50Hz~60Hz
3 ***da功耗 10 W
4 满量程输出信号 输出电压: 0 ~ +5V输出电流: 4~20mA (或0~10mA)
5 上下限设定电压范围 0 ~ +6V
6 报警继电器触点 2组转换触点, 触点容量: ~250V 2A
7 外形尺寸 (96×96×155) mm
8 重量 1 Kg
9 控制通道 1路MFM
3. 外观和操作面板
二种型号的流量显示仪均采用标准嵌装式塑料机箱, 外观和操作面板见
图 2. 1A、1AM 型流量显示仪外观
4. 工作原理
4.1 ±15V 电源
1A、1AM、型显示仪的电源采用开关电源，具有工作电源电压范围宽和抗干扰能
力强的特点。集成稳压模块内部有过热、过流保护, 且具有性能稳定、可靠性高等特点。
4.2 基准源和流量设定
在1A 型流量显示仪中设计有+5.00V 基准电源, 它加载到设定电位器上, 通过操作者手
动调节面板上的设定电位器, 提供0~5V 的设定电压输出, 用来控制MFC 的流量。该电源设计有开机软启动电路, 当电源盒接通电源时, 基准源缓慢从零升至+5V, 软启动时间约为20秒。
4.3 数字显示器
流量显示用三位半数字面板表直读, ***da显示数为1999。流量显示的单位有“SCCM”、
“SLM”、“%”三种。通常, 流量显示仪与质量流量控制器配套出厂时,将显示器显示的量值
和单位与其对应的MFC 通道的量值和单位调整成一致。若用户订货时没有注明MFC 的流量
规格, 则出厂调整为按满量程的百分比显示, 它与任何规格的质量流量控制器配合使用时,
满量程均显示“100.0%”。在流量显示仪小盒的面板上, 设计有流量单位指示灯, 其中一个发
光二极管亮表示SCCM, 另一个亮表示SLM, 若两个均不亮, 表示单位为%。各通道显示的
数值、小数点和流量单位均可通过改变和适当调整而满足使用的不同要求。
4.4 阀控开关
1A型流量显示仪的面板上装有“阀控”开关。阀控开关有三个位置, 正常工作时置于“阀控”位, 需要通气吹洗管路时, 置于“全开”位, 不用时应置于“关闭”位。
4.5 调零电位器
面板上设计有外“调零”电位器, 可以用来在小范围内调整流量计的零点。
警值。当MFM 的流量超出设定范围时，面板上相应的报警指示灯被点亮且蜂鸣器发出断续
声报警。同时，内部继电器通过显示仪后面的接线端子提供两组触点输出，触点容量~250V
2A。
4.7 1FM 型的显示转换
显示选择开关有四个位置，分别为“流量检测”、“上限显示”、“下限显示”和“报警关
闭”位。其中，“上限显示”和“下限显示”分别用来显示用户设定的报警值。正常工作时，
开关应置于“流量检测”位。当置于“报警关闭”位时，显示仪仅显示实际流量，不具备报
警功能。
5. 安装和接线 |
