仁荷微电子科技有限公司主要从事质量流量器的研制、开发、制造、销售以及质量流量器各种配件模具的设计、加工等相关的服务。产品包括超高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和全球服务支持方案。本公司产品气体质量流量控制器广泛应用于工业气体、石油、化工、医疗、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、各类实验室、研究所、生物医药、标准检测等各类高新技术领域，为客户提供各种气体管道输送系统的全面服务。深受广大客户的肯定及认同。
我公司生产的气体质量流量控制器所使用的技术全由我们独家技术，具有自主知识产权，产品的每一个部件都有我们自己设计制作，且已取得了多项技术专利申请 ,气体质量流量控制器每一个部件我们都以精益求精的质量服务广大客户，让客户体验到自动化流量控制设备带来的改变，为现有的产品技术升级提供基础服务。 致力于为客户开发“生产工艺最优化和成本化”的解决方案及相关产品。并且能够提供高效优质的售后服务。
主要技术参数
编号 项目 MF-200C MF-200M
1 流量规格（N2） 10sccm～30slpm
2 准确度 ±1％F.S(Full Scale)
3 重复精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 响应时间 ≤2sec（特别要求时：≤1sec）
5 耐压 ≤90bar
6 工作环境温度 0℃～50℃
7 输入输出信号 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供电 +15Vdc or +24Vdc 350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范围 2～100％满量程
客户没有特别要求时，气体质量流量控制器（MFC）出厂通常以氮气（N2）标定。 |
