BLJ-1型直流溅射电源控制器
1 概述
本控制器是在本公司 CF2B-2B 单相可控硅闭环触发控制器的基础上，增加
了离子镀膜机直流溅射电源的一些特殊控制功能，精心设计而成。用户只要根
据磁控溅射靶的功率要求，选择变压器、续流电抗器就可以非常方便的组成所
需的电源。本控制器设有启辉控制电路，负载打火瞬态保护及自动恢复电路，
并具有系统频繁打火或负载短路自动保护功能，以及与外部水压继电器的联锁
控制功能。
本控制器功能齐全，安装使用方便，可靠性高,过载能力强，是离子镀膜
机直流溅射电源的理想控制器。
2 技术参数
2.1 最大控制功率：4KVA。
2.2 辉光放电电流≥50mA 时自动切断启辉电路。
2.3 调节特性：恒流。
2.4 输入控制信号：直流电压 0-10V 或外接 10K 给定电位器。
2.5 保护特性：
2.5.1 因系统打火瞬间电流只要超出使用电流 1.5 倍电源自动切断，并自动复
位。
2.5.2 负载在 5 秒内连续打火超过 4 次或负载短路持续时间大于 5 秒电源自动
关断,故障排除后手动复位。
2.6 延时特性：开机起动或保护后的自复位启动时间不大于 5 秒。
2.7 工作条件：
环境温度：-25—+40℃
相对湿度：≤85%
2.8 功耗：≤25W
2.9 外型尺寸：175×114×60mm
2.10 重量：1.5Kg
3 工作原理
本控制器的应用接线图见附图 3。根据磁控溅射所需功率，选择外围电气
元件，如变压器、续流电感的电感量、电流表、电压表、启动、停止按钮等。
控制器由三个部份组成，详见附图 1。第一部分由双向可控硅调压电路、
整流电路、启辉控制电路组成功率调整器。第二部分由同步整形、锯齿波发生
器、电流放大器、PI 调节器、脉冲产生调制放大器等组成可控硅移相触发闭
环控制单元。第三部分由单稳态触发器、比较放大器、积分器组成负载打火及
短路保护电路。 |
