一、STACIS 2100用户及应用领域
l 微电子、半导体
-晶片检测
-显微光刻技术
-掩膜校准
l 科学研究、纳米技术
-SEM, TEM
-STEM, SPM
l 激光台
-生命科学、药物研发
l 工业应用
-精密加工
二、为什么要选择主动系统？
l 从<1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振
l 提高吞吐量、质量、生产量
l 更加细小特色的成像能力
l 研究前沿
l 比气动平台更稳定
l 满足SEM标准地点安装参数的唯一解决方案
l 使得新实验室及研究设备的工程造价更低
三、为何选择主动系统, 为何选择STACIS?
l 正中研究者、科学家、设计者、领导者的心声棗?#25105;需要尽可能最好的无震环境！?/SPAN>
l 市场上最强劲的低频隔振系统。
l 目前，所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统
l STACIS首次发明于 mid 1990s, 经TMC进一步发展，开发了数以千计的安装系统，这是隔振控制领域的领导者提供的可靠技术.
四、STACIS特色与优势
l 最宽的主动隔振带宽，最好的低频隔振效果
l 亚赫兹的主动震动消除，最主要在0.6-6Hz频段内的隔振
l 唯一的可堆叠式设计
l 主动硬式安装结构，而非软式悬浮，无低频漂移：主动元件与刚性弹簧相连
l 被动弹簧滤除了来自Stacis传感器的负载谐振，需要的调谐非常少，甚至无需调谐
l 由于阻抗不匹配，可兼容仪器内部隔离器
l 大负载，可达 2000kg
l 市场是最先进的隔振系统
五、STACIS相比气动隔离器刚性大400倍 ?/FONT>
稳定时间作为对扰动的响应，由于独特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。
六、如下优势在业内都是无与伦比的
l STACIS的主动隔振带宽为 0.6Hz - 150Hz
l 6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB
l 从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB)
七、专业的环境调查
安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波
安装后可提供环境系统体系认证
l 完善的环境调查服务
l 开具专业环境报告
l 提供震动、磁场、声波检测及解决方案
l 全球性覆盖。有求必应，博学多才
l TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案
l 40多年的行业经验，业内的领导者 |
