SU8010—日立新型高分辨场发射扫描电镜SU8000系列
日立2005年在中国推出了S-4800型高分辨场发射扫描电镜，由于出色的应用性能、良好的稳定性和简易的维护，收到了各界用户的一致好评。
日立2011年新推出了它的后续机型----SU8010，它继承了S-4800的优点，性能有进一步提高，1kv使用减速功能后，分辨率提升到1.3nm，相对于S-4800可以在更低的加速电压下呈高分辨像，明显提升了以往很难观测的低原子序数样品的观测效果。
特点：
1. 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品
3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像
4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
5. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能
6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成
二次电子分辨率
1.0nm（加速电压15kV、WD＝4mm）
1.3nm（加速电压1kV、WD＝1.5mm）
加速电压 0.1～30kV
观测倍率 20～8000,000(底片输出)
60～2,000,000（显示器输出）
样品台
马达驱动 3轴马达
5轴（选配）
行程 X 0～50mm
Y 0～50mm
Z 360°
T -5～70°
R 1.5～30mm
最大装载尺寸 100mm（最大）
150mm（选配）
探头
标配 Lower 高立体感图像
Upper 高分辨SE、BSE图像
选配 STEM 明场像、暗场像
YAG 探头 BSE图像
半导体探头 BSE图像
EBIC 电子束感生电流图像
EDS 元素分析
反污染措施
冷指 标配
物镜光阑 内置自清洁功能
电子枪 内置加热器
真空系统
离子泵 3台
分子泵 1台
机械泵 1台 |
