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产品简介
韩国linetech气体质量流量控制器耐压90bar，可测量腐蚀性气体，结构紧凑，重复性高，响应时间快，性价比高，可广泛用于设备配套。韩国LINETECH经济型气体质量流量控制器最大流量可测到300SLPM，质量流量计的最大流量可测到1000SLPM。
一、linetech气体质量流量控制器产品特点
• 测量质量流量
• 无需温度和压力补偿
• 结构紧凑
• 精度高
• 工作压力高
• 响应时间快
• 重复性高
二、linetech气体质量流量控制器技术参数
型号 质量流量计 质量流量控制器
流量范围(N2) 10SCCM~1000SLPM 10SCCM ~ 300slpm
响应时间 <2 sec <2 sec
精准度 ≤±1% FS ≤±1% FS
重复精度 ±0.25% FS ±0.25% FS
输入/输出信号 0~5 Vdc OR 4~20 mA 0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电源±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
耐压 <90bar 0-30SLPM，<90bar;
30-100SLPM,<70bar,
100-300SLPM,<15bar
工作环境温度 0~50 °C 0~50 °C
漏率 1*10E-9 atm cc/sec 1*10E-9 atm cc/sec
使用范围 2 ~ 100% 2~ 100%
三、linetech气体质量流量控制器接口尺寸
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