性能参数
型号 1010C 2010C 2017C 3017C
货号MF-A 176-662* 176-663* 176-664* 176-665*
货号MF-B 176-682* 176-683* 176-684 176-685*
XY工作台行程范围100*100mm 200*100mm 200*170mm 300*170mm
Z轴移动范围 150mm 150mm 220mm 220mm
调焦方式 手动调焦（粗调焦：30mm/rev.,微调焦：0.2mm/rev.)
测量方法 线性编码器（2轴型：X/Y轴，3轴型：X/Y/Z轴）
分辩率（可转换） 0.001mm/0.0005mm/0.0001mm
测量精度（20℃时） XY轴：（2.5+0.02L)um ，L为无负载测量长度（mm），JISB7153
指示精度（20℃时） Z轴：（5+0.04L)um,L为测量长度（mm）
XY工作台台面尺寸 280*280mm 350*280mm 410*342mm 510*342mm
载物玻璃有效尺寸 180*180mm 250*150mm 270*240mm 370*240mm
旋转功能 — — ±5°(左） ±5°（左)
台面最大承重 10kg 20kg 20kg 20kg
最大工件高度 150mm 150mm 220mm 220mm |
