性能参数:
型号QV Apex302PRO QV Apex404PRO QV Apex606PRO
QV Apex302PRO3 QV Apex404PRO3 QV Apex606PRO3
Hyper QV302PRO Hyper QV404PRO Hyper QV606PRO
测量范围X轴 300mm 400mm 600mm
Y轴 200mm 400mm 650mm
Z轴 200mm 250mm 250mm
分辨率 0.1um(0.02um)
高灵敏度CCD照相机 黑白（PRO3型号：彩色）
精度 E1XV (1.5+3L/1000)um[(0.8+2L/1000)um]
E12 (1.5+4L/1000)um[(1.5+2L/1000)um]
E2XY (2+4L/1000)um[(1.4+3L/1000)um]
照明
（PRL:可编程环形照明） 表面 LED,RGB(PRO3型号：卤素灯)
轮廓 LED，白色(PRO3型号：卤素灯)
PRL LED,RGB(PRO3型号：卤素灯)
放大倍率转换系统 可编程电动转盘
工作台玻璃尺寸 399×271mm 493×551mm 697×758mm
最大工作高度 200mm 250mm 250mm
台面最大承重 20Kg(15Kg) 40Kg(30Kg) 50Kg(40Kg)
尺寸(W×D×Hmm)** 859×951×1609 1027×1407×1778 1309×1985×1799
重量** 360Kg 579Kg 1450Kg
*测量精度在以下条件下定义，可编程电动转盘：1X，物镜设置：2.5X，L为任意两点间尺寸（mm)
**包括机器设置台 |
