微小流量气体混合仪

放大图片	产品型号：	LF
	产品品牌：	LF
	当前价格：	面议
	最小起订：	1套
	供货总量：	10000
	所在地：	四川成都市
	发布时间：	2020-10-10 19:24

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成都莱峰科技有限公司

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详细信息

微小流量气体混合仪
特点：微小流量气体混合，高精度控制多种气体混合比例，实现不同气体比要求，气路通道：1～8路（根据客户需求设计）。
详细介绍
◆ 最大工作压力达3MPa
◆ 密封更可靠
◆ 寿命更长
◆ 经济型和精密型
一般特点
◆ 通用接头，易安装
◆ 结构合理
◆ 使用范围广
◆ 气体混合同比例可按要求调节
◆ 使用气体种类多（可达60多种）
◆ BA级洁净管道
特点性能
1． MFC最大工作压力3MPa。（详见产品说明书）
2．最高工作温度5-50℃。
3．国际主流通用管连接方式。
4． 316不锈钢材质。
5．阀门与介质接触部分的零件材料为不锈钢、聚四氟乙烯。
6．安装方便。
结构材料
注：切勿将零件与其他制造厂生产的相混用或互换
气体混合仪系统参数
气体传输：2种气体， Swagelok卡套连接
气体类型：NH3，CH4等
进气压力：0.1-0.4MPA
控制阀动作型式：常闭式
响应时间(sec)：1S
  工作压差：0.05～0.5MPA
最大耐压：3MPA
控制原理：质量流量控制，每个出口单独控制
流量：5SCCM，10SCCM，50SCCM
采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制，并且不会受到温度及压力变化的影响
其他流速可选择，其他气体可选择
准确性：优于2%
数据：输出的数据转换为标准状态下的质量（ 1个大气压，0度）
      标准状态规定为：
      标准温度………………0℃（273.15K）
      标准压强………………101325Pa

控制显示方式：本地显示控制

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