气体配比器
特点：高精度控制多种气体混合比例，实现不同气体比要求，气路通道：1～8路（根据客户需求设计）。
详细介绍
【性能参数】
气体传输：1- 8种气体 ， Swagelok卡套连接
气体类型： 空气、N2， O2 ，CO2,SO2等
进气压力：2 --8bar
出口气体：1--8种
控制阀动作型式：常闭式
响应时间(sec)：1S
工作压差：0.05～0.5MPA
最大耐压：3MPA
出口压力：0 --6bar
控制原理：质量流量控制，每个出口单独控制，含温度及湿度休整补偿（由于密度和温度的关系很大，
为 减少误差补偿）
流速：0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30，200SLM
采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。
可应用在5SCCM到200SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响
其他流速可选择 ，其他气体可选择
准确性： 优于2%
保护： IP20
数据：输出的数据转换为标准状态下的质量（ 1个大气压，0度）
标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa控制显示方式：本地显示控制
特性：气体混气
2,工作要求
2.1气体混气仪器应满足以下工作环境要求:
工作电源: AC 185~265V,50Hz.
工作温度:0～45℃
相对湿度:≤90%
2.2进出口连接：
可以用1/4'或6mm的316l（聚四氟）与气源进行快速连接，并与采样灌进行快速连接
3.特性：
两元气体混和装置，利用多台高精度MFC精密控制气体混合比例，可以混出不同要求的气体比
气体混和精度不受起源压力变化的影响
全耐腐蚀设计，适应所有气体混合（常温无凝结）
调节精度优于+-1%，混和精度优于2%
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