三维共焦显微拉曼光谱仪装置Nanofinder®30
Nanofinder®30 三维共焦显微拉曼光谱仪装置是日本首创,世界上最先进的分析装置。它能在亚微米到纳米范围内,测定物质化学状态的三维图像并同时能获得物质的拉曼光谱信息从而推测物质的组成,是一款集成分和形貌分析一体的高精度分析设备,一般情况下无须对样品进行特殊加工, 测试时也是非接触非破坏的,因此面向测试范围广。它由共焦激光显微镜,压电陶瓷平台(或电动扫描器)和光谱仪等部件组成。并能自选追加原子力显微镜和近场表面增强拉曼测定的功能。 主要特点: 高灵敏度(检测硅的第四级拉曼信号仅用1分钟) 快速拉曼成像,低激发功率 高空间分辨率(130nm@364nm, 200nm@488nm), 采用针尖增强拉曼光谱技术达50nm。 高光谱分辨率 0.5cm-1/0.1cm-1(中阶梯光栅技术/曲线拟合软件) 激光扫描显微镜选件自动聚焦。 3个激发激光源之间可自动转换。可同时获得共焦拉曼图像(特殊材料)和共焦激光光学图像。 近场无孔TERS显微镜选件 结合共焦拉曼和扫描探针显微镜。空间分辨率达50nm。 反卷积软件 分辨率提高了1.5倍。共焦拉曼成像的空间分辨率等于或低于100nm。标准分辨率λ/4.2,λ:激发激光(488 nm, 532 nm, 633 nm, 785 nm)。
应用 半导体/电子材料(异状物,应力,化学组成,物理结构) 薄膜/保护膜(DLC,涂料,粘剂)/界面层,液晶内部构造 结晶体(单壁碳纳米管,纳米晶体) 光波导回路,玻璃,光学结晶等的折射率变化 生物学(DNA, 蛋白质, 细胞 组织等)
主要技术参数:
空间分辨率(典型的): 激光波长λ(nm) 物镜数值孔径N.A. XY 平面横向分辨率(nm) Z轴分辨率(nm) 364 1.4(油浸) 130 330 488 1.4(油浸) 200 500 488 0.9 250 520 532 0.9 275 560 633 0.9 320 660 785 0.9 390 800
灵敏度:1分钟内检测硅的第四级拉曼峰(488nm/5mW) 光谱范围:50cm-1~5000cm-1 (随激发光波长变化) 光谱分辨率:0.5cm-1/1.5CCD像素(中阶梯光栅选件) 计算机控制:全自动
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