TCS208F采用先进的MEMS加工技术生产，利用被测组份和参考气体的热导系数不同而响应的浓度型传感器。产品具有检测范围大、可靠性高、安装方便、维护简单等优点。可广泛应用于天然气，CH4、H2，CO2，CO，SF6，Xe，He，NH3等气体成份检测，也可用于测量非常小的气体容积变化。
测量精度高
灵敏度高
集成温度补偿，漂移小
体积小，响应速度快
可以测量微小的气体容量
高性价比
TO8封装，抗冲击能力强
详细介绍：
1. 最大限值
最小 典型 最大 单位
热功率P（Rm1+Rm2）： ? ? 30 mW
测量温度Tm ? ? 180 °C
环境温度 -20 ? +85 °C
气体压力（1） ? ? 200 bar
注：由于膜的热时间常数短，短时间的加过高的热功率会毁坏传感器。
2. 参数说明：
最小 典型 最大 单位
电阻，Rm1，Rm2（Tm=25°C） 92 100 115 Ω
电阻，Rt1，Rt2 220 240 275 Ω
商，Rtx / ( Rm1+Rm2 )，x∈{1,2} 1.13 1.2 1.27 1
阻抗差，Rm1 - Rm2 -2.0 ? +2.0 Ω
α=温度系数，( Rm, Rt ) | 20 - 100°C 4.8（2） 5.5 5.9 10-3•K-1
G =几何系数（3） ? 3.6 ? mm
τm =膜的热时间常数 ? <5 ? ms
τdiffusion =气体交换的时间常数 ? <100 ? ms
漂移( Rxy ) | x∈{m,t} ; y∈{1,2} ? 0.001 0.01 %/week
散射结构的体积 ? 0.2 ? mm3
保持干净的周围环境空间大小 ? 100 ? mm3
基础材料 硅,采用蚀刻技术获得微观结构
尺寸结构: 包括底座
不包括底座 3mm × 3mm × 1mm
13mm Ø × 15.4mm
暴露在空气中的材料 Si, SiOxNy, 金, 环氧材料
注释: (1) 根据供应商的说明书对于适当的设备提供的压力参数
(2) α的最小值只适用于与低规格电压辅助源结合的情况. 产品会不断的改良使它更接近于DIN 43760的规格.
(3) 因数G是由内部的传感器的机构决定的.
传感器的机械测试:
振动: 符合IEC 68-2-6 附录B (1982) 10圈,±1.5mm; 20g; 10..2000Hz; 1阶/分钟
冲击: 符合IEC 68-2-27 修正#1 (82年10月),径向和轴向各10次, 100g; 7.5ms / 300g; 2.5ms / 900g; 1.2ms.
|
