供应小型等离子清

放大图片	产品型号：	QT-36-PSP
	产品品牌：	东莞启天自动化设备
	当前价格：	面议
	最小起订：	不限台
	供货总量：	不限
	所在地：	广东东莞市
	发布时间：	2011-01-19 09:29

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东莞市启天自动化设备有限公司

联系人：黄先生先生((销售员))

电话：0769-38834566-266

手机：15916966002

传真：0769-87796169

地址：广东省东莞市樟木头樟洋工业区富竹二街八号

邮编：523618

网址：http://www.fd17.com/cnqtkj/

E-mail：qtkj1@cnqtkj.com

详细信息

1.主要适用于实验、科研、医学及小规模的生产领域。
2.特点：成本低，整机机械、电气结构简单、实用，易维护。
　　　　　　 3.控制方式：手动或自动控制模式，利用各简单元器件的巧妙
　　　　　　　组合成自动控制体系，各参数调整好后，一键完成整个清洗工艺。
　　　　　　 4.电源功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。
　　　　　　 5.射频电源手动匹配（自主研发的全固态晶体管输出型）
　　　　　　 6.浮子精密气体流量计、针阀等控制工艺气体流量。
　　　　　　 7.清洗完成有提示音
　　　　　　 8.反射功率过大报警
　　　　　　 9.工艺气体耗尽报警
　　　　　　 10.泵热过载报警
　　　　　　 11.反应仓泄漏报警
　　　　　　 12.电极采用高通量等离子结构，牢固可靠易拆卸。
　　　　　　 13.反应仓为矩形不锈钢腔体，水平电极板放置，间距可调。
　　　　　　 14.真空泵采用双腔式旋片泵，极限真空度可达2Pa以下，一般采用外置。
　　　　　　 15.真空泵可选配液位低报警装置

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