JRp-03电阻率测试仪
JRP-03型半导体电阻率测试仪是专用于各种半导体材料包括铁块/片状硅料、晶体、晶体等的电阻率测定的设备,测定范围:10-2～102左右欧姆，是生产厂家硅料分选测试的理想工具。
1、主要技术指标:
电源：220V交流
电阻率：10-6～105Ω/□（可扩展）；
方块电阻（薄层电阻）：10-3～106Ω/□
电阻：10-6～105Ω
可测晶片直径（最大）Ф100mm,方形230×220mm
恒流源：电流量程为0.01～1mA连续可调，误差?±0.5%。
数字电压表：量程：0.1～200mV,最大分辨率：100μV
电阻率显示：三位半数字显示：小数点、极性、过载、自动显示
输入抗阻：0.2mV和2mV量程：＞108Ω
测量精度：±5%。
最大电阻测量误差（按JJG508-87进行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%读数±2个字。
重掺检测误差（JJG508-87进行）：1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%
测量环境：温度23±2℃，相对湿度≤65%
2、操作程序：
1、首先连好电源，打开后面板电源开关，电源指示灯亮，表示待机完毕。
2、校准设备：厚度小于3.98mm取与要备测试硅材料厚度相同的硅材料标准样块校准电阻率测试仪，测试厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一标准样块校准电阻率测试仪
3、测试：用四探针接触硅材料，以探针压下三分之二为准，待仪器显示数字稳定即可，
4校验：在测试过程中要求2小时用标准样块校准一次设备， |
