远紫外和软X射线单色仪/光谱仪
= 标准配置或可选
波长范围(nm)
光谱分辨率
(nm)
焦距
(mm)
型号
扫描
阵列探测器
成像
真空
超高真空
光学设计
< 1 ～ 310
0.018
1,000
248/310G
光栅入射
< 1 ～ 90
0.015
1,500
252/315
光栅入射
< 1 ～ 254
0.008
2,200
247
光栅入射
< 1 ～ 240
0.006
3,000
249
光栅入射
<1 ～ 70
0.002
10,600
262
光栅入射
1 ～ 15
0.007
70,000
264
光栅入射
10 ～ 170
0.05
292
251
平场环形
1 ～ 20
0.02
5,649
251MX
平场环形
50 ～ 300
0.1
320
343
环形
注：该分辨率是用1200G/mm的光栅测量的。
【光电测量产品】
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