莱宝分子泵TUBOVAC系列陶瓷轴承涡轮分子泵:昆山苏州无锡上海济南莱宝罗茨泵WAU501

更新时间：2026-05-18 17:59:52

莱宝分子泵TUBOVAC系列陶瓷轴承涡轮分子泵

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型号：MAG 1500C/CT ， MAG2000C/CT ， M
品牌：莱宝
产品详细

分子泵机组

莱宝的TUBOVAC系列陶瓷轴承涡轮分子泵有五种规格，抽速自50至1100升/秒，极限真空度为＜10-10mbar。
其主要特点为：
- 陶瓷轴承为脂润滑，无维护运行时间长。
- 允许任意角度安装。
- 有水冷和风冷两种选择。
- 对H2的压缩比大。
- 无油真空泵，可用来产生洁净的超高真空。

TW系列复合分子泵
抽速： 70 ～ 1600 升 / 秒
极限真空度： 10 － 9 mbar
最大允许前级压强： 6 ～ 14mbar
主要特点有：
- 转子叶片为一次成型，消除了叶片应力，使得前级耐压高达 14mbar ，并能抵抗短暂的大气冲击。
-高效的风冷系统，使其在绝大多数工作条件下无需冷水。
- 变频器与泵体的一体化设计，避免了连接变频器带来的不便。
- 模块化的设计为用户提供了多种选择。
- 结构紧凑，可方便地安装到复杂的系统中。
- 可以任意角度安装。
- 螺旋式的拖动级耐粉尘能力强。
- 轴承为油脂润滑，无维护运行时间长。
- 无油真空泵，可用来产生洁净的高真空和超高真空。
- 可在轴承需要维护时提前预警。
- 通过通讯接口可以与掌上电脑， PC 或 PLC 联络，以读取分子泵工作状态的参数，以及储存单元的运行记录；并可根据需要对某些参数进行修改，如频率等。
- 高前级耐压降低了对前级泵的要求，使得系统总体造价降低。
　　　　　　　　　　　　　　　　　
新一代数字化控制，五轴定位的磁悬浮分子泵
MAG 1500C/CT ， MAG2000C/CT ， MAG2200C/CT ， MAG 2800C/CT ， MAG 3200C/CT
抽速： 1500l/s ～ 3200l/s
? 五轴定位双端磁悬浮轴承系统，自平衡性能好全无油，耐粉尘、抗气流冲击。
? 转子采用高强度铝合金，一次高速铣削成形，应力小，强度高，耐冲击，高温变形量小，转子叶片不易卷曲、打碎；转子长期运行温度可高达 120 ℃ 。
? 转子及定片均采用莱宝专利技术的 KAPLAR 涂层
? 较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能，适用于抽除腐蚀性强的工艺气体；
? 降低气流与转子叶片摩擦产生的热量，降低转子运行温度，有利于延长转子寿命；
? 叶片镀 KAPLAR 的转子较镀镍的转子重量更轻。
? 保护轴承为陶瓷轴承，寿命长（ >600 次），无需更换保护轴承。
? 高真空端连接采用 ISO-F ，连接螺栓强度高，充分保障安全。
? 智能化电源，无需 UPS 。
? 带拖动级，前级耐压在 2mbar 以上。
? 分子泵运行温度可调节，使其充分适应不同工艺制程。
? 最先进的数字控制技术
? 运行速度、温度可设置；
? 运行数据记录存储，提供多达 180 条运行信息；
? 磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制，信号处理速度快，系统反应时间短
? 转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时，磁场补偿反应时间短；
? 在气流长时间（ 2 分钟以上）过大，而使泵负载过高，发热量过大时，泵速会快速自动调节，使泵温下降到正常水平。
? 控制器与泵无识别性，可互换。
? 免维护。
典型应用：
适用于
? 所有半导体主要制程：刻蚀、化学气相沉淀及离子注入
? 科研领域
? 镀膜
另外，莱宝公司磁悬浮分子泵系统中还包括单轴定位的 TURBOVAC340M ， MAG400 和 MAG 1000 。

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昆山苏州无锡上海济南莱宝罗茨泵WAU501

型号：WAU501 WAU2001 WAU201 WAU1001
品牌：莱宝
昆山苏州无锡上海济南莱宝罗茨泵WAU501 WAU2001的详细信息

产品详细
在250～2050米3/小时的抽速范围内，欧瑞康莱宝的罗茨泵的电机有直联式(WA/WAU)和封闭式(WS/WSU)两种规格，每种规格又分为带逸流阀、可在大气下启动的WAU/WSU和不带逸流阀的WA/WS的两种形式。
为了满足某些行业中对大抽速罗茨泵的需要，欧瑞康莱宝还有另一个系列的大型罗茨泵(RA系列)，其抽速为3900～13000米3/小时。
欧瑞康莱宝的RUVAC罗茨泵与专用的变频器配合使用，可使泵的抽速增加(最大)100%，从而弥补了各规格之间的抽速空挡。
另外，欧瑞康莱宝还提供专门用于激光应用的罗茨循环风机。
欧瑞康莱宝罗茨泵的主要特点：
欧瑞康莱宝所有规格的罗茨泵均采用风冷，无需循环冷却水系统。
WAU/WSU系列可以在大气下启动，既可简化系统的控制程序，又提高了从大气压到10mbar范围内机组的抽速。
在很宽的压强范围内，即使在极限压强附近，都具有很高的抽速。
加工精度高，可将前级真空度提高一个数量级。
震动小，噪音低。
有立式泵和卧式泵可供选择。
WS/WSU系列为CANNED电机，与无油前级泵组合，可组成无油真空机组。
可以与变频器配合使用，以增加或降低抽速。欧瑞康莱宝罗茨泵的主要特点：
欧瑞康莱宝所有规格的罗茨泵均采用风冷，无需循环冷却水系统。
WAU/WSU系列可以在大气下启动，既可简化系统的控制程序，又提高了从大气压到10mbar范围内机组的抽速。
在很宽的压强范围内，即使在极限压强附近，都具有很高的抽速。
加工精度高，可将前级真空度提高一个数量级。
震动小，噪音低。
有立式泵和卧式泵可供选择。
WS/WSU系列为CANNED电机，与无油前级泵组合，可组成无油真空机组。
可以与变频器配合使用，以增加或降低抽速。