ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器:PORTER气体质量流量计

更新时间：2026-05-10 23:32:18

ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器

访问量：586
型号：MS
品牌：ALICAT
www.hammertech.com.cn 010-87241391

产品简介

ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器采用全316L不锈钢结构及密封的316L不锈钢传感器，可根据不同应用需求选择相应的弹性密封材料，如：FFKM、EPDM、Viton及Buna-n等。Alicat专利的层流压差技术能以惊人的速度测量气体质量流量，且具备一系列标准性能，如：200：1量程可调比、内置30种气体可选、多功能数字显示屏及有条件的终身质保等。

一、ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器产品优势
操作简单
Alicat 质量流量计&质量流量控制器操作极其简单，用户可通过多功能数字显示屏调节参数，无需连接电脑或其它任何复杂的编程软件。
精确控制
Alicat 标准型质量流量计&质量流量控制器的精度为±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，几乎所有型号通过增加高精选配项可达±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。
高性价比
Alicat 质量流量计&质量流量控制器本身耗电极小，从而降低了系统运营的成本，且相比于同类产品，其压损较低，降低压损意味着更多气体进入到系统中，而不是停留在测量&控制设备中。除质量流量外，Alicat 质量流量计&质量流量控制器还可同时测量体积流量、压力和温度，您无需另外采购和安装其它设备。使用累加器(TOT)功能可显示流经气体总量，是监控整个应用过程及减少气体浪费的最有效的方法。MCS系列的模块化设计使其成为真空应用的最佳选择。
性能卓越
MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器可测量与控制从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量，除了RS-232数字信号输出，还配有多种模拟信号输出。MS系列质量流量计亦有便携式型号(MBS系列)，采用一块普通9伏电池供电，即成为一款适用于腐蚀性气体的二等标准流量校准设备。
反应灵敏
与相应标准型M/MC系列相同，MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器(防腐蚀型)其测量响应小于10毫秒、控制响应为100毫秒。
高重复性
Alicat 的专利技术使得质量流量计&质量流量控制器几乎没有可移动部件，所有零件都被内置固定，腔体内不存在物理变化，从而具有较高的一致性和重复性。所有Alicat 质量流量计&质量流量控制器的重复性可达±0.2% F.S。
值得信赖
全球现有超过90000台Alicat设备正被使用在不同领域中，质量流量控制器主要应用于医药、半导体、燃料电池、如：科学研究、泄漏测试、环境监测、真空镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、计量以及过程工艺气体测量&控制等。所有Alicat 设备均具有NIST可溯源校准证书。
二、ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器标准性能
• 多功能数字显示屏
• 显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力
• 低压损
• 无需预热
• 316L不锈钢本体&传感器
• FFKM、Viton、Buna或EPDM密封材料可选
• 可调节PID算法 (仅用于质量流量控制器)
• 内置130种常用气体可选，开放COMPOSER™ — 气体编辑器，允许用户自定义混合气体组分
• 200:1 量程可调比
三、ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器性能参数
指标 ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器
0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，
量程 10SCCM，50SCCM，100SCCM....
1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度 ±0.8%读数±0.2%满量程（可选高精
度：±0.4%读数±0.2%满量程）
重复性 ±0.2%
量程比 200:1
响应时间 100ms
标准状态(STP) 25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
温度范围 -10～50
零点漂移 0.02％
量程漂移 0.02％
湿度范围 0-100%
测量流量范围 128％（过流率）
最大耐压 145psi
输出信号（数字）质量流量、体积流量、绝对压力和温度
数字信号可选 RS485，Modbus，Profibus
输出信号（模拟）质量流量、体积流量、绝对压力和温度
模拟信号可选 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
电气连接 8针/9针/15针（根据不同类型流量计而定）
供电电压 7-30VDC（4-20mA输出时为：15-30VDC）
供电电流 0.035A（4-20mA输出时为：0.055A）

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PORTER气体质量流量计

型号：111
品牌：porter
www.hammertech.com.cn 010-87241391

产品简介：
美国porter公司专业生产气体/液体质量流量计/质量流量控制器，porter气体质量流量计采用金属外壳，可用于实验室气体测量或环境相对恶劣的场合。该产品采用热式原理，热式流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表.即利用流体流过发热物体时,发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。
一、porter气体质量流量计设计特点
• 热式原理
• 一体化设计
• 满量程从 5SCCM 到 1000SLPM
• 响应时间不超过 2 秒钟
• 操作压力可达 20.7MPa
• 对安装位置不敏感
• 316SS 材质，允许测量腐蚀性气体
• 无直管段安装要求
• 单电源供电
二、porter气体质量流量计技术参数
流量范围：从 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具体请参考表一
响应时间： 1 ～ 2 秒
精度： ± 1% 满量程（除 204A 型）
---------± 1± 1.5%.满量程（ 204A 型）
重复性： ± 0.2% 满量程
量程比： 50:1 （ 2%-100% 满量程）
环境和操作温度： -10 ～ 70 ℃
最大操作压力： 3000PSIG （ 20.7MPa ），具体请参考资料
零点漂移： ± 0.05 % 满量程 / ℃
范围漂移： ± 0.05 % 读数 / ℃
压力漂移： 0.1%/atm （相对于 N 2 ）
安装方向：对位置不敏感
预热时间： 10 分钟
电气连接：卡式（ 20 针）或 D 型（ 9 针）
设定点输入流量信号输出：0-5VDC/0-5VDC；4-20mA/4-20mA
供应电源：
电压输出：＋ 12( ± 5 ％ ) （仅适用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信号输出）或 +15( ± 10 ％ )VDC
电流输出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或 +24( ± 15 ％ )VDC
电流消耗：＜ 250mAdc
重量：请参考表一
三、porter气体质量流量计结构材质
主体： 316SS
传感器组件： 316LSS
孔： 316SS
阀构成部件（接液）：
302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802 （除 202 、 221 、 222 和 251 型）；302SS ， 316SS ， Sandvik?1802 （ 202 、 221 、 222 和 251 型）
密封材质（” O ”型环和阀座）：
Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton （除 202A 、 203A 和 204A 型）；Buna N ， Viton （ 202A 、 203A 和 204A 型）
过程连接： 316SS

四、porter气体质量流量计选型表

型号流量范围最大操作压力重量
最小/最大 N2 PSIG(MPa) Ibs(Kg)
111 0-5SCCM/0-10SLPM 1500(10.3) 0.9(0.41)
112 0-10SLPM/0-100SLPM 1500(10.3) 2.1(0.95)
113 0-100SLPM/0-500SLPM 1500(10.3) 5.2（2.4）
114 0-500SLPM/0-1000SLPM 1500(10.3) 6.6（3.0）
121 0-5SCCM/0-10SLPM 3000 (20.7) 0.9（0.41）
122 0-10SLPM/0-100SLPM 3000(20.7) 2.1（0.95）
123 0-100SLPM/0-500SLPM 3000(20.7) 10.8（4.9）