μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更精确量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。
德国NanoFocus μsurf cylinder机台是世界上唯一的一款专为测量桶状内壁设计的非接触式三维表面测量仪，并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析能力，被世界顶级的汽车厂商所应用。三维激光扫描轮廓仪圆缺孔板 供应超力巴流量计-西安质量第一供应焊接式孔板_西安宏沛专业生产 供应均速管流量计-西安质量第一3D测量激光显微镜 |
μscan系列机台采用模块化设计，特点是快速测量、不接触、不破坏、自动化。主要应用于材料表面的三维轮廓测量，粗糙度测量，宽度，高度，角度，半径、粗糙度等二维、三维数据分析。能直接测量较大面积的样品，而不用通过拼接。
μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用，如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是连接CF4激光共聚焦传感器。
CF4激光共聚焦传感器内，被照亮的小孔成像在被测量的表面，激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上，只有当焦平面和真实表面的点配对的时候，探测器才记录到一个表面信号。因此物镜得通过小的垂直步位移动，使信号通过位移传感器的位置移动被测出。根据特殊的内插技术，该系统的精度能达到10nm以下。 |
