Dektak150台阶仪光学轮廓仪价格用途:Dektak XT 台阶仪光学轮廓仪华东总代理

更新时间：2026-05-10 03:48:28

Dektak150台阶仪光学轮廓仪价格用途

访问量：505
型号：Dektak150
品牌：维易科
Dektak 150 台阶仪光学轮廓仪价格用途技术参数总代理详细说明：
Dektak 150 台阶仪
集40多年的探针轮廓技术创新于一身，该系统在行业内的表现遥遥领先，以重现性最佳和标准扫描范围最大而著称。它提供各种各样的配置和附加选项，用于程序化测量、低探针力表征和细节分析

台阶仪Dektak 150 表面轮廓仪（探针式）
规格：
测试技术：探针轮廓技术
测试功能：二维表面轮廓测试
样品视场：640*480像素，USB；17 inc 平板显示器
探针传感器：低惯量传感器（LIS 3）
探针压力：使用LIS 3传感器：1至15 mg
使用N-lite传感器：0.03至15 mg
探针选项：探针曲率半径可选范围：50 nm至25 um;
高径比针尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
样品载物台：手动X/Y/@：100*100 mm, 360度旋转，可手动校平；
可选Y自动移动载物台，100 mm行程，1um重现性，0.5 um分辨率；
可选X-Y自动移动载物台，150 mm行程；
1um重现率，0.5 um 分辨率
计算机系统：主机使用celeron或者semprom处理器
软件：Dektak软件
台阶检测软件
可选应力测量软件
可选三维Vision分析软件
可选缝合软件
减震装置：可选桌式震动隔离装置
可选台式震动隔离装置
性能
扫描长度范围 55mm(2.1英寸)
每次扫描数据点最多12万数据点
最大样品厚度高达90 mm (4英寸)，取决于配置
最大晶圆尺寸 150 mm(6英寸)
台阶高度重现性 6埃
垂直范围：标准524um(0.02英寸)；可选1mm
垂直分辨率：最大1A（6.55um垂直范围下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
电源要求：
输入电压： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ

无论是用于科学研究还是工业生产，Dektak 150探针式表面轮廓仪都具有业内最好的表现性能，最高的测量重复性以及最大的扫描范围。Dektak 150集四十多年的技术积累和创新于一身，为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置。坚固的铝质材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复精度，并降低了地板噪音对测量的干扰。基于Windows®XP的软件用户界面，使用户迅速掌握Dektak 150。分析功能齐全，界面直观，包括从简便的一键"进针即测量"，到多次扫描结果的自动分析。通过选配三维成像附件套装还可以极大地扩充仪器的功能。

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Dektak XT 台阶仪光学轮廓仪华东总代理

型号：Dektak XT
品牌：布鲁克
Dektak XT 台阶仪光学轮廓仪华东总代理
第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）
布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供无与伦比的重现性，重现性低于5?。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰，更加巩固了其行业领先地位。通过整合其行业领先产品，DektakXT实现了最高性能。操作简易，从研发到质量控制都有更好的过程控制。整合了技术突破到第十代Dektak台阶仪能够在微电子，半导体，太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。

DektakXT
Specifications规格
测量技术探针轮廓技术
测量功能二维表面轮廓测量
可选三维测量/
样品视景可选放大倍率, 1 to 4mm FOV
探针传感器低惯量传感器 (LIS 3)
探针压力使用LIS 3传感器：1 至 15mg
低作用力（选配）使用N-Lite+低作用力传感器：0.03至 15mg
探针选项探针曲率半径可选范围： 50nm至25μm
高径比 (HAR)针尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;
可按客户要求定制针尖
样品X/Y载物台手动 X-Y 平移：100mm (4 英寸)
机动X-Y 平移：150mm (6 英寸)
样品旋转台手动，360°旋转;
机动：360°旋转;
计算机系统 64-bit 多核并行处理器, Windows? 7.0; Optional 23英寸平板显示器
软件 Vision64操作及分析软件；
应力测量软件；悬臂偏转；
缝合软件；三维扫描成像软件
减震装置减震装置可用
扫描长度范围 55mm (2英寸)
每次扫描数据点最多可达120,000数据点
最大样品厚度 50mm (2英寸) 最大晶圆尺寸 200mm (8英寸)
台阶高度重现性 <5?, 1σ在1μm台阶上
垂直范围 1mm (0.039英寸)
垂直分辨率最大1? ( 6.55μm垂直范围下) 输入电压 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz
温度范围运行范围20 到 25°C (68到77°F)
湿度范围 ≤ 80%, 无冷凝
系统尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H); 34公斤(75磅);
附件：550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H); 21.7公斤(48磅)