集成电路扩散炉生产厂家:厂家双层玻璃反应釜

更新时间：2025-09-27 23:41:04

集成电路扩散炉生产厂家

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型号：ORB
品牌：青岛奥博
L4513、L4514系列高温扩散炉|稀土烧结设备|金属淬火工业炉
扩散炉应用行业
扩散炉应用：应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池、半导体器件的扩散、氧化退火、烧结等工艺，也可做为磁性材料的烧结工艺，还可适用于机械行业的淬火、冶金业稀土的烧结工艺。
扩散炉特点：　　

1主机为水平一至四管炉系统构架，独立完成不同的工艺或相同工艺　　
2工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制　　
3采用悬臂送片器：操作方便、无摩擦污染等　　
4关键部件均采用进口，确保设备的高可靠性　　
5工艺管路采用进口阀门管件组成气密性好、耐腐蚀、无污染（管路均采用EP级电抛光管路），流量控制采用质量流量计（MFC）进口　　
6控温精度高，温区控温稳定性好；　　
7具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能扩散炉主要技术指标　　
L4513、L4514系列高温扩散炉|稀土烧结设备|金属淬火工业炉
8、工艺说明　　
氧化：干氧工艺，湿氧工艺（去离子水、氢氧合成-内/外点火）　　
扩散：硼扩、磷扩（液态源、固态源等）　　
合金、退火等工艺　　
9、系统组成：主机（加热体、石英/SiC管、功率组件等）、自动送片（悬臂-SiC）净化工作台、气路气源系统（气源柜）、计算机控系统等组成　　
10、控制方式：手动送片/自动送片　　
11、扩散炉配置（可选）：　　
12、仪表控制/计算机控制　　
13、工艺管（水平结构）：1-4管　　
工艺规格：2~6英寸晶圆或125mm×125mm、156mm×156mm太阳能电池片（工艺腔体为石英或碳化硅）　　
恒温区长度：1100mm/800mm/600mm/450mm 　　
晶圆装载：悬臂式，刚玉/碳化硅杆，碳化硅桨　　
工作台：有净化/无净化　　
工艺气路：对应的工艺气路，气路阀门组件采用国际优质品牌产品（如SWAGELOK、PARK、SANDVIK、CARDINAL等等），MFC国际优质（如MKS、UNIT、STEC等）或国产优质　　
扩散炉主要技术参数：　　
5.1工作温度：200〜1300℃ 　　
5.2加热体控制点：3/5点　　
5.3炉体恒温区：450mm/600mm/800mm/1100mm 　　
5.4恒温区精度：＞800℃/±0.5℃，＜800℃/±1℃ 　　
5.5单点温度稳定性：600〜1300℃/±0.5℃/24h 　　
5.6最大可控升温速度：25℃/min 　　
5.7最大降温速度：5℃/min（900〜1300℃）　　
5.8供电：三相四线，380VAC/50Hz 　　
6、结构尺寸：　　
6.1结构：水平扩散炉/垂直扩散炉
扩散炉选型
1按结构可分为立式和卧式两种。
2推拉舟有斜滚.双杆.悬臂三种形式。
3工作台有简易操作台（无净化、净化）;标准操作台（无净化、净化）。
4按管路的组成及连接形式可从以下两方面来区分：
1.按流量控制器区分：可分为浮子流量计和质量流量控制器。
2.按阀门及连接方式区分：可分为进口电磁阀卡套连接.进口气动阀卡套连接.进口气动阀VCR连接三种形式。
5按工艺类型区分：可分为干氧氧化.湿氧氧化（普通湿氧化和氢氧合成氧化）. 磷扩散.硼扩散和退火（合金）等多种。

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厂家供应双层玻璃反应釜

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双层玻璃反应釜产品说明:

玻璃真空反应器为双层玻璃设计，内层放入反应溶媒可做搅拌反应，夹层可通上不同的冷热源（冷冻液，热水或热油）做循环加热或冷却反应。在设定恒温条件下，在密闭的玻璃反应器内，可根据使用要求在常压或负压条件下进行搅拌反应，并能做反应溶液的回流与蒸馏，是现代精细化工厂、生物制药和新材料合成的理想中试、生产设备。

双层玻璃反应釜主要特征:

●内有挡板，使样品得以充分搅拌。（国内首创）
●变频调速、交流感应电机。转速恒定，无电刷、无火花，安全稳定，可连续工作。
●全套玻璃仪器采用GG17高硼硅玻璃生产，有良好的化学、物理性能。
●玻璃夹层接口通上热油经过循环，可做加热反应，通上冷冻液可进行低温反应。
●可在常温下反应，通上自来水即能快速将反映热量带走。
●下放料口具法兰口和聚四氟阀门，容器内无死角，可拆卸便于固体物料出料。
●五口反应器盖，特大口设计便于清洁，标准口插口可选择组装回流，蒸馏合成装置。

双层玻璃反应釜技术参数:

型号
釜容量(L)
瓶口数
釜盖直径(mm)
电机功率(W)
真空度

(Mpa)
转速(rpm)
转矩(Ncm)
电源

(V)
价格

(元)

BL-50LG
50

5

265

180

0．096

50-600
300

220

BL-30LG
30
120
210
32800

BL-20LG
20
120
162

BL-10LG
10
120
162