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太阳能电池片扩散炉生产厂家:超声波清洗机|河南医用超声波清洗机厂家 |
更新时间:2026-11-01 00:58:49 |
太阳能电池片扩散炉生产厂家高温扩散炉|稀土烧结设备|金属淬火工业炉 扩散炉应用行业 扩散炉应用:应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池、半导体器件的扩散、氧化退火、烧结等工艺,也可做为磁性材料的烧结工艺,还可适用于机械行业的淬火、冶金业稀土的烧结工艺。 扩散炉特点: 1主机为水平一至四管炉系统构架,独立完成不同的工艺或相同工艺 2工业计算机控制系统,对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制 3采用悬臂送片器:操作方便、无摩擦污染等 4关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性 5工艺管路采用进口阀门管件组成气密性好、耐腐蚀、无污染(管路均采用EP级电抛光管路),流量控制采用质量流量计(MFC)进口 6控温精度高,温区控温稳定性好; 7具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能 扩散炉主要技术指标 L4513、L4514系列高温扩散炉|稀土烧结设备|金属淬火工业炉 8、工艺说明 氧化:干氧工艺,湿氧工艺(去离子水、氢氧合成-内/外点火) 扩散:硼扩、磷扩(液态源、固态源等) 合金、退火等工艺 9、系统组成:主机(加热体、石英/SiC管、功率组件等)、自动送片(悬臂-SiC)净化工作台、气路气源系统(气源柜)、计算机控系统等组成 10、控制方式:手动送片/自动送片 11、扩散炉配置(可选): 12、仪表控制/计算机控制 13、工艺管(水平结构):1-4管 工艺规格:2~6英寸晶圆或125mm×125mm、156mm×156mm太阳能电池片(工艺腔体为石英或碳化硅) 恒温区长度:1100mm/800mm/600mm/450mm 晶圆装载:悬臂式,刚玉/碳化硅杆,碳化硅桨 工作台:有净化/无净化 工艺气路:对应的工艺气路,气路阀门组件采用国际优质品牌产品(如SWAGELOK、PARK、SANDVIK、CARDINAL等等),MFC国际优质(如MKS、UNIT、STEC等)或国产优质 扩散炉主要技术参数: 5.1工作温度:200〜1300℃ 5.2加热体控制点:3/5点 5.3炉体恒温区:450mm/600mm/800mm/1100mm 5.4恒温区精度:>800℃/±0.5℃,<800℃/±1℃ 5.5单点温度稳定性:600〜1300℃/±0.5℃/24h 5.6最大可控升温速度:25℃/min 5.7最大降温速度:5℃/min(900〜1300℃) 5.8供电:三相四线,380VAC/50Hz 结构尺寸: 6.1结构:水平扩散炉/垂直扩散炉 扩散炉选型 1按结构可分为立式和卧式两种。 2推拉舟有斜滚.双杆.悬臂三种形式。 3工作台有简易操作台(无净化、净化);标准操作台(无净化、净化)。 4按管路的组成及连接形式可从以下两方面来区分: 按流量控制器区分:可分为浮子流量计和质量流量控制器。 按阀门及连接方式区分:可分为进口电磁阀卡套连接.进口气动阀卡套连接.进口气动阀VCR连接三种形式。 5按工艺类型区分:可分为干氧氧化.湿氧氧化(普通湿氧化和氢氧合成氧化). 磷扩散.硼扩散和退火(合金)等多种。超声波清洗机|河南医用超声波清洗机厂家铝钎焊炉|铜钎焊炉 超声波清洗机|河南工业超声波清洗机厂家供应江西风机动平衡机/大型辊子动平衡机/ 齿式联轴器拉萨称重软件日客则电子地磅林芝传感器金和 |
超声波清洗机|河南医用超声波清洗机厂家郑州生元仪器有限公司供应超声波清洗机|河南医用超声波清洗机厂家;超声波清洗机广泛用于制药、食品加工、医疗卫生、大专院校、工矿企业、科研单位的腐粘性较高及高难度的清洗、脱气、乳化、混匀、置换、提取、粉料及细胞粉碎 特点: 1.数显设定超声清洗时间 2.工作时间倒计时显示 3.实时显示清洗槽内实际温度 4.1—99分钟总工作时间设定 5.配备专用不锈钢网篮、降音盖、迷你阀门,经久耐用,内部为铜接头 6.仪器的内外壳体和降音盖采用优质304不锈钢、外表面为拉丝面 7.风机:采用国际名牌产优质风机 8.自主研发核心电路,震荡电路为IGBT模块控制的他激式电路, 输出功率比自激式大15%,输入电压范围宽±10%,不容易损坏等优点。 工作模块简单,维修方便。 9.仪器的操作程序采用单片机编程,修正方便,工作参数断电记忆功能 型号 内槽尺寸(mm) 容量(L) 超声频率(KHZ) 超声功率(W) 温度范围(℃) 时间范围(min) 排水 降音盖 网架 SYU-2-50D 100*150*150 2.2 40 60 无 0-99 无 标配 无 SYU-3-100D 230*150*100 3.5 40 100 无 0-99 无 标配 标配 SYU-4-180D 300*150*100 4.5 40 180 无 0-99 无 标配 标配 SYU-7-200D 300*160*150 7 40 240 无 0-99 无 标配 标配 SYU-7-300D 300*160*150 7 40 300 无 0-99 无 标配 标配 SYU-10-200D 300*240*150 10 40 240 无 0-99 有 标配 标配 SYU-10-300D 300*240*150 10 40 300 无 0-99 有 标配 标配 SYU-22-600D 500*300*150 22.5 40 600 无 0-99 有 标配 标配 SYU-30-900D 500*300*200 30 40 900 无 0-99 有 标配 标配 SYU-60-1500D 600*350*300 65 40 1200 无 0-99 有 标配 标配 SYU-80-2000D 600*400*350 85 40 1500 无 0-99 有 标配 标配 SYU-120-2500D 600*500*400 120 40 1500 无 0-99 有 标配 标配 SYU-210-4000D 700*600*500 210 40 1500 无 0-99 有 标配 标配 SYU-360-6000D 1000*600*600 360 40 1500 无 0-99 有 标配 标配 SYU-2-50DT 100*150*150 2.2 40 60 常温-80 0-99 无 标配 无 SYU-3-100DT 230*150*100 3.5 40 100 常温-80 0-99 无 标配 标配 SYU-4-180DT 300*150*100 4.5 40 180 常温-80 0-99 无 标配 标配 SYU-7-200DT 300*160*150 7 40 240 常温-80 0-99 无 标配 标配 SYU-7-300DT 300*160*150 7 40 300 常温-80 0-99 无 标配 标配 SYU-10-200DT 300*240*150 10 40 240 常温-80 0-99 有 标配 标配 SYU-10-300DT 300*240*150 10 40 300 常温-80 0-99 有 标配 标配 SYU-22-600DT 500*300*150 22.5 40 600 常温-80 0-99 有 标配 标配 SYU-30-900DT 500*300*200 30 40 900 常温-80 0-99 有 标配 标配 SYU-60-1500DT 600*350*300 65 40 1200 常温-80 0-99 有 标配 标配 SYU-80-2000DT 600*400*350 85 40 1500 常温-80 0-99 有 标配 标配 SYU-120-2500DT 600*500*400 120 40 1500 常温-80 0-99 有 标配 标配 SYU-210-4000DT 700*600*500 210 40 1500 常温-80 0-99 有 标配 标配 SYU-360-6000DT 1000*600*600 360 40 1500 常温-80 0-99 有 标配 标配 |
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