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CX-200TM半自动扫描电子显微镜:韩国COXEM电子显微镜(扫描电镜)

更新时间:2025-11-25 19:11:04

供应CX-200TM半自动扫描电子显微镜


访问量:475
型号:CX-200TM
品牌:韩国COXEM
COXEM Co.,Ltd  专门制造扫描电子显微镜的全球化企业,自2007年成立以来,业务发展迅速,已成为全球主要扫描电镜制造商之一。自2011年5月,COXEM在中国设立直销办公室,配置专家级扫描电镜应用工程师和维修工程师,向中国顾客提供优质扫描电镜产品和服务。

性能指标:
分辨率: 3.0nm (30kV, SE image) 10nm(3KV,SE image)
                  4.0nm (30kV, BSE image) 可选
放大倍数:10x~300,000x(WD=5mm)
加速电压 0.5kV~30kV
电子枪:三级自给偏压,偏压电阻可自动/手动调节,预对中发叉式钨丝阴极
透镜系统: 三级电磁透镜 2 个聚光镜,一个园锥形物镜
物镜光阑: 4 孔可变光阑,摇摆对中合轴
图像电位移和电旋转: ±50 ? (WD: 10 ㎜); 0-360°无限
样品室: 内径φ210mm ,可扩展接配EDS,BSE,WDS 等探测器
样品台及行程:  五轴手动机械对中样品台
                              X: 65 ㎜, Y: 40 ㎜, Z: 5~65 ㎜, T: -20°~+90°, R: 360°
最大样品尺寸:130mm(直径) X 71mm (高度)
样品台控制方式: 自动/手动
操作系统: PCI、USB 接口的PC 机控制, 奔腾4 兼容机,Windows XP, 19 英寸彩色显示器,图形用户界面(GUI)嵌入多种图像实时分析测量工具,鼠标键盘操作
自动功能: 自动聚焦,自动亮度对比度,自动消象散,自动电子束对中,自动物镜光阑合轴,自动电子枪加饱和,自动电子枪偏压,动态聚焦,倾斜补偿。
扫描模式:屏幕选区模式: 320 x 240 像素
                TV 屏幕扫描模式:640 x 480 像素
                全屏慢扫描模式: 800 x 600 像素 (3 档速度)
                分屏扫描模式:1200 x 600 像素 (SE BSE 双信号)
                 全屏照相获取模式 1: 1280 x 960,2560 x 1920,5120 x 3840 像素
                  波形观察模式
图像格式 JPG, TIFF, BMP
语言 英语
真空系统:全自动高真空系统,样品室处真空度优于1x10-5 Torr,真空度实时显示.涡轮分子泵260 升/秒 + 旋片式机械泵100L/min
外形尺寸和重量:主机: 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 350 ㎏
                             电脑桌: 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10 ㎏
安装要求:电源 AC 220V, 60Hz, 2kVA
地线:独立地线1 条,小于等于100Ω
温度:15℃~30℃
湿度:小于等于70 %
交流磁场:小于等于0.3 uT
地面振动:5 um/sec Max.
门宽 900mm 或更宽供应韩国COXEM电子显微镜(扫描电镜)供应超声波流量计,换热站热量表 PICO汽车示波器PicoScope 4223,4423PICO示波器PicoScope 9201系列 PICO示波器PicoScope 5000系列在线氧分析仪

供应韩国COXEM电子显微镜(扫描电镜)


型号:CX-200
品牌:韩国COXEM
一、情况简介 :
       CX-200系列扫描电镜是在CX-100优秀核心技术基础上,创新调整了产品构架,性能进一步提高,达到世界当前同类产品的顶级水平。作为COXEM公司最新主力型产品,共分为4个标准化子型号。 

       CX-200TA型全自动扫描电镜:涡轮分子泵+自动台
       CX-200DA型全自动扫描电镜:油扩散泵+自动台 
       CX-200TM型半自动扫描电镜:涡轮分子泵+手动台
       CX-200DM型半自动扫描电镜:油扩散泵+手动台
“由于扩散泵对于真空环境的污染,造成仪器性能减退显著,需要提高3倍以上维护频率,对于大多数用户来说,是不愿意接受的;另外真空环境污染造成样品在高倍观察时,产生碳沉积,影响图像分辨率。因此从科学发展角度,从市场用户的实际需要出发,COXEM暂不对外出售CX-200D系列产品。”
       具有世界一流技术水平的CX-200系列高性能大型钨灯丝扫描电镜,适合多种需求类型的客户选购。
       在选购时,您唯一需要考虑的问题,工作效率:
       扫描电镜优劣评价标准,是扫描电镜的工作效率高低(这个标准是DEMA驰奔定义),仪器客观的工作效率是由仪器的软硬件决定的,当基本的功能指标都相同或者相似,其中对效率影响最大的两个因素,是真空系统的清洁程度和样品台的自动化程度。CX-200系列四个标准型号扫描电镜根据以上两个重要因素,进行组合而成。
        驰奔对扫描电镜工作效率简单分析如下:
1、搜索样品感兴趣点的速度,样品台自动化程度越高,效率越高。计算机导航坐标定位马达驱动系统要优于单纯的马达驱动,马达驱动要优于手动。对于样品全面分析检测,统计特征点,自动台体现高效率。当然如果您的样品放进去,只是选择一两个区域来照相,自动台意义不大。
2、高质量图像获得的效率:电子光学系统的自动化,或者更高的性能来提高效率。如热场发射扫描电镜看2万倍,可以在2TV扫描速度下,清晰成像,而钨灯丝大型扫描电镜看2万倍图像,要清晰成像,光保存一帧图像需要20秒以上,还不要说调整电子光学参数的功夫,如果不明就里,拿过来两个图像来比较,可能很难分出伯仲,因此有的人会说,在2万倍水平上,钨灯丝扫描电镜和场发射扫描电镜区别不大,这个前提就是忽略客户的效率需求,比如工厂做晶圆上的芯片检测,这里边就有了效率需要,虽然一般检测可能只看2万倍,但对效率提出很苛刻的要求,钨灯丝根本不能胜任。
3、系统真空获得的效率:涡轮分子泵相对扩散泵具有明显优势。
 3.1、众所周知,涡轮分子泵可随时开关机,油扩散泵开关机受到泵油升温和冷却的限制(开关机一个来回至少要等50分钟),因此要么就开一天,要么一开就至少半天,半天如果只需要做一个小样,照一张照片,那效率就更低了;除非扩散泵长期不关机,例如2-3个月,真空泵总保持启动,那么效率还是很高的,这需要特殊照顾。
 3.2、真空洁净度对效率影响:涡轮分子泵真空洁净度远远优于油扩散泵。泵油蒸汽分子,在电子束作用下分解为碳氢化物,污染样品和末级光阑。电子束扫描样品时,会被电子束诱导沉积到正在观察的样品区域表面,越高倍,沉积速度越快,污染降低se产额,从而降低成像分辨率;末级光阑在电子束作用下,最容易沉积污染物,污染的随机变化,在高倍引起的象散需要随时进行校正。往往高倍需要逐级消象散,在一个区域调节电镜参数到最佳,然后迅速电位移到就近区域扫描存储图像,这降低操作效率
 3.3、也同样是污染的原因,扩散泵真空系统扫描电镜需要的维护周期要短得多,一般建议3个月维护一次,而同样工作条件,涡轮分子泵真空系统的一般建议是1年维护一次。
   综上所述:在一次操作周期内对效率影响最大的因素,自动化程度越高,效率越高。应该是样品台的自动化程度和真空洁净程度;电子光学性能需要定位,5000倍以下,不明显,5000倍以上就显示高分辨和自动化的优势。
通过以上简单分析,对CX-200系列型号作如下推荐,原则是不至于让您感到特别疲倦,让您专注于材料的特征观察分析。

       1、如果您有大量的样品要做,但要求管理维护简单方便,应该选择最高效率的CX-200TA型,
       2、如果您有大量的样品要做,同时可以接受较短的维护周期,可以选择CX-200DA型
       3、如果您的样品量不算大,但随时想看,又不希望花过大精力照顾扫描电镜,请选择 CX-200TM型
       4、如果您的样品量不算大,可以安排专门操作人员“照顾”扫描电镜,可以选择更加经济的CX-200DM型    
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