高压型气体流量控制器、质量流量计:金属密封质量流量计/控制器

更新时间：2026-03-29 18:25:59

高压型气体流量控制器、质量流量计

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型号：LF400-F
品牌：LF(莱峰)
摘要

LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。
可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高精度，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
特点

模拟式热质式流量计/流量控制器：
低单价
环境温度补正
可应用的流率范围广：
0～5、10、20、30、50、100、200、500SCCM
0～1、2、3、5、10、15、20、30SLM
高精度
±1%(≤15SLM)
±1.5%(＞15SLM)
可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
国际兼容

应用

工业设施的气体供应监测/控制。
气体分析设备。
固定气体流量控制。
气体混合或分离设备

标准气体质量流量用氮气(N2)标定。
标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入输出
低价格，高性能
LF400 模拟式系列
热式质量流量計/流量控制器
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V

(高耐压型)
型号

LF400-F □ □ － □□□ － □□□ － □ □ □
型式 A 模拟式
D 数字式
功能 M 流量计
C 流量控制器
流量范围 ABC
气体种类 013 N2
008 Air
015 O2
004 Ar
025 CO2
001 He
FFF 其他
接头 1/4"VCR 1
1/2"VCR 2
3 mm SWL 3
6 mm SWL 4
其他 F
讯号 DC 0~5V 1
其他 2
电源 DC+/-15V 1

流量范围是以mL/min，L/min 为单位
例：
5mL/min 表示为005
500mL/min表示为500
50 L/min(nor) 表示为50L
规格 (热式)
功能流量计/控制器
基本型号 LF400-F
满量程流量范围(N2) SCCM 0～5、10、20、30、50、100、200、500
SLM 0～1、2、 3、 5、 10、15、20、 30
精度(％F.S) ±1(≤15SLM)
±1.5(＞15SLM)
控制阀动作型式常闭式
线性(％F.S) ±0.5～1(≤15SLM)
±1.5％(＞15SLM)
重复精度(％F.S) ±0.2
响应时间(sec) ≤1
流量输出信号 0～5 VDC
流量设定信号 0～5 VDC
电器接头 DB15 pin(接头)
工作环境温度 (℃) 5～45
工作压差 (MPa) 0.1～0.5
漏率 atm.cc/sec He 1×10-9
最大耐压 15MPa
介质接触材质 304、316、316L
密封材料氟橡胶、硅橡胶、丁腈橡胶、聚四氟乙烯
接头尺寸 VCR 1/4"、1/2"
Swagelok1/8"、1/4" 、3/8" 、1/2"或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
电源要求 +15V,50mA;-15V,200mA
尺寸/定义图

设定/显示/电源一体型控制器 LF-1D

1: 输出电源：+15V±5% 500mA -15V±5% 500mA2：基准源：+5.00V±0.1％ 5mA3：供电电源：8VDC-24VDC，50Hz±5%4：输入输出信号：电压信号0-5V，电流信号4-20mA5：外形尺寸：96×96×125mm6：显示器：128×64点阵式液晶，高亮度宽温（-20~70℃）液晶屏，画面清晰LED背光7：最大功耗：8w8：控制通道：单路控制显示9：基本误差：±0.2%FS10：环境温度：0-50℃11：环境湿度：0-85%RH12：防护等级：IP40
金属密封质量流量计/控制器防爆型气体质量流量计/控制器恒温恒湿试验箱BALLGRID 1200系列球栅尺 BALLGRID 5000系列微型球栅尺BALLGRID B50系列球栅数显表

金属密封质量流量计/控制器

型号：LF400-M
品牌：LF(莱峰)
概要

LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。
可应用在5SCCM到10SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
产品系列完整，可选择数字式、模拟式、普通、高精度、高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
特点

模拟式热质式流量计/流量控制器：
低单价
环境温度补正
可应用的流率范围广：
0～5、10、20、30、50、100、200、500SCCM
0～1、2、3、5、10SLM
高精度
±1%(≤10SLM)
可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
国际兼容

应用

工业设施的气体供应监测/控制。
气体分析设备。
固定气体流量控制。
气体混合或分离设备

标准气体质量流量用氮气(N2)标定。
标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入输出
低价格，高性能
LF400 模拟式系列
热式质量流量計/流量控制器
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V

(金属密封型)
型号

LF400-M □ □ － □□□ － □□□ － □ □ □
型式 A 模拟式
D 数字式
功能 M 流量计
C 流量控制器
流量范围 ABC
气体种类 013 N2
008 Air
015 O2
004 Ar
025 CO2
001 He
FFF 其他
接头 1/4"VCR 1
1/2"VCR 2
3 mm SWL 3
6 mm SWL 4
其他 F
讯号 DC 0~5V 1
其他 2
电源 DC+/-15V 1

流量范围是以mL/min，L/min 为单位
例：
5mL/min 表示为005
500mL/min表示为500
50 L/min(nor) 表示为50L

规格 (热式) :
功能流量计/控制器
基本型号 LF400-M
满量程流量范围(N2) SCCM 0～5、10、20、30、50、100、200、500
SLM 0～1、2、3、5、10
精度(％F.S) ±1
控制阀动作型式常闭式
线性(％F.S) ±0.5～1
重复精度(％F.S.) ±0.2
响应时间(sec) ≤1
流量输出信号 0～5.00VDC
流量设定信号 0～5.00VDC
电器接头 DB15 pin(接头)
工作环境温度 (℃) 5～45
工作压差 (MPa) 0.1～0.5
漏率 atm.cc/sec He 1×10-9
最大耐压 3MPa
介质接触材质 304、316、316L
密封材料金属密封
接头 VCR 1/4"、1/2"
Swagelok1/8"、1/4" 、3/8" 、1/2"或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接头和尺寸 Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm
1/4"VCR:127×28×100mm
电源要求 +15V,50mA;-15V,200mA
尺寸/定义图:

设定/显示/电源一体型控制器 LF-1D

1: 输出电源：+15V±5% 500mA -15V±5% 500mA2：基准源：+5.00V±0.1％ 5mA3：供电电源：8VDC-24VDC，50Hz±5%4：输入输出信号：电压信号0-5V，电流信号4-20mA5：外形尺寸：96×96×125mm6：显示器：128×64点阵式液晶，高亮度宽温（-20~70℃）液晶屏，画面清晰LED背光7：最大功耗：8w8：控制通道：单路控制显示9：基本误差：±0.2%FS10：环境温度：0-50℃11：环境湿度：0-85%RH12：防护等级：IP40