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青岛全功能微控扩散系统:现货ADMAG AXF流量计优惠

更新时间:2026-03-28 01:21:54

青岛全功能微控扩散系统


访问量:536
型号:L4811-II
品牌:奥博
全功能微控扩散系统是生产半导体器件和大规模集成电路的重要设备。
1、系统组成:a)扩散炉主机 b)推拉舟及层流净化台 c)气源柜 d)排毒柜 e)微机控制柜
2、扩散炉管数:1~4管/台
3、炉管内径:φ90㎜×240mm
4、恒温区长度:≤600mm±1℃(300~800℃) ≤600mm±0.5℃(800~1250℃)
5、单点稳定性:±1℃/24h(300~800℃) ±0.5℃/24h(800~1250℃)
6、气源路数:≤6路
7、气源控制:MFC或浮子流量计
8、推拉舟行程:最大1500mm
9、推拉舟速度范围及精度:(1~1000)± 3mm/min
10、推拉舟位置控制精度:≤3mm
11、冷却方式:水冷+风冷
12、微控部分采用STD总线功能模板
a)主CPU板:8031+32ROM+8KRAM+总线接口部件
b)信号调理板:完成对温度过程的采样、放大及高精度A/D的转换
c)人机界面板:接收键入信息管理,并配置9”液晶显示
d)推拉舟接口板:输出推拉舟速度值,完成舟位置检测,输出推拉舟的运动指令
e)MFC接口板:输出MFC设定值,将MFC的流量信息采入计算机
f)可控硅控制及形状量输出板:完成与可控硅触发及开关量放大驱动器接口等功能
g)键盘:采用标准键盘或专用小键盘
h)电源板(非STD总线板)
i)可控硅触发板:完成可控硅的过零触发或移相触发驱动(非STD总线板)
j)开关量驱动板:完成由STD总线板的数字信号(TTL电平)的转换、放大,用于驱动气路阀(非总线板)
k)推拉舟驱动部分:接收总线板输出的推拉舟速状态指令,并将位置转换成标准信号输出,有手动自动转换
13、微机控制特点:
a)工艺温度段数:1~14段,可选段运行
b)单段时间范围:1~1080分钟/斜变段 1~9999分钟/恒温段
c)三个温度测控回路独立修正温度测量值 d)三个温度测控点独立修正温度测量值
e)PID参数,温度修正量可在线修改 f)温度设定单位:℃ 分辨率:0.1℃
g)工艺段时间设定单位:min,分辨率:1min h)各类工艺数据断电后长期保存。
i)工艺气体流量,推拉舟运动状态由微机实行闭环控制 j)中文显示各类提示信息
k)各类输入信息采用填表方式完成,条例清楚,逻辑合理。

青岛奥博仪表设备有限公司提供本设备全面的技术支持和售后服务!
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现货供应ADMAG AXF流量计优惠


型号:ADMAG AXF
品牌:横河
特性: ADMAG AXF流量计
面向用户的性能
电极污染程度诊断

连续监测电极上积累的绝缘物质的量来判断何时需要进行维护。可选的可更换式电极便于取出和清洗。
灵活的配线口朝向
转换器和端子盒可以变换各个朝向以配合安装现场的配线位置。
清晰丰富的显示功能
大型全点阵背光LCD显示可以三行显示各种信息。当报警发生时,会显示合理对策的完整描述。
轻松的设定
最常使用的参数整理在一个集合中,位于显示屏的顶部。红外线感应开关的采用,无需打开机盖即可完成参数设定。
安装后快速运行
AXF交货时就已经完成参数设定,所以在安装和配线结束后即可投入运行。

产品系列的扩展
改进的精度规格

标准精度为读数的0.35%。使用选配件,可以得到更高的精度,校正精度为读数的0.2%。
微小口径法兰型
提供2.5mm的微小口径法兰型。
各种卫生型过程连接
提供多种卫生型过程连接,包括Tri-Clamp、ISO、DIN和SMS。

增强的性能
增强的双频励磁

可选用增强的双频励磁方式。为高浓度浆液或低电导率流体提供高度稳定的测量。
最低电导率达1µS/cm
最新设计的AXF转换器可以实现电导率最低为1µS/cm的流体测量。(取决于管径和流体条件)
高速脉冲输出
高速脉冲输出10,000pps(pulses per second 每秒脉冲数),适用于短时间批处理应用。



规格: ADMAG AXF
AXF分离型传感器 AXF一体型 AXFA14转换器 AXFA11转换器
公称通径 2.5~2600mm
(0.1~104in.)
[取决于模具类型] 2.5~400mm
(0.1~16in.)
[取决于模具类型] 适用管径2.5~400mm
(0.1~16in.) 适用管径2.5~2600mm
(0.1~104in.)
用途 普通型,防爆型,
卫生型,潜水型 普通型,防爆型,
卫生型 普通型,防爆型 普通型
流体温度 -40~160℃ (-40~320℉)
(卫生型 -10~160℃ (14~320℉)) - 40~130℃ (-40~266℉)
(卫生型 -10~130℃ (14~266℉)) - -
环境温度 -40~60℃ (-40~140℉) [取决于仪表型号]
精度 0.35% of rate (可选 0.2% of rate)
流体
电导率 1µS/cm以上(取决于管径和流体条件)
衬里 特氟龙PFA/陶瓷/聚氨酯橡胶/
EPDM橡胶/天然软质橡胶
[取决于仪表型号] - -
过程连接 Wafer,法兰,卫生型过程连接
(Clamp[Tri-clamp,DIN,ISO],Union thread[DIN,ISO SMS],Butt-weld),等 - -
信号电缆长度 - - 100m
(330ft) 200m
(660ft)
显示器 - 多行背光LCD(全点阵)
自诊断 电极污染诊断,空管,线圈断线诊断等
报警信息 显示报警信息和相应对策(英语、德语、法语、意大利语、西班牙语、日语)
励磁方式 双频励磁: 管径 2.5~400mm,
脉冲直流励磁: 管径 500~2600mm,
增强的双频励磁(可选): 管径 25~200mm
防爆型 ATEX,FM,CSA,IECEx,TIIS -
选配件 可更换式电极,可旋转接线盒(转换器),衬里表面镜面处理(PFA/陶瓷),特殊密封垫圈等
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