PLD脉冲激光沉积镀膜系统:白光干涉三维轮廓测量仪

更新时间：2026-03-18 22:26:07

PLD脉冲激光沉积镀膜系统

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详细信息　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
自从1993年起SURFACE公司就从事脉冲激光沉积镀膜系统（以下简称PLD）的研发和制造工作，在这期间SURFACE公司不但向市场提供了标准的PLD系统，而且也提供专门为客户订制的PLD系统。经过了这么多年的发展，SURFACE公司开发出许多能够满足客户需求的产品和技术。以下就是由SURFACE公司独家提供的这些产品和技术的简要介绍：

一．基本资料

1.、SURFACE基底运载系统

对机械手来说，热均匀和热隔离的有效性是十分重要的。这其中，精确的热电偶是关键的质量因素。

（图上的文字）
SURFACE常规电阻1英寸基底运载器

嵌入式Omicron原子力基底夹
热电偶直接嵌入基底运载系统，30mm的基底中间区域

基底和银酱一起安装在激光切边运载器上。运载系统可转换并直接嵌入热电偶（请见另一页）这保证绝大多数的温度测量。

2、靶切换系统

超高真空技术需要反应釜通过一个负载锁的腔体进行相互作用。从一开始，SURFACE就意识到这一点，并设计了一个靶转盘来实现这一需求。

多层盖板避免了强热的基底转移到靶材。所有靶材是受保护，以防止交叉污染。盖板能够非常容易地被更换，无需工具。靶材将通过磁场操纵或位于中央转移腔的内部转移操纵手被转移。该耦合和靶材的精确检索是自动完成的。靶转盘和切换动力保证了均质烧蚀过程。

3、模块化的系统概念

SURFACE公司多年来一直从事于研发超高真空材料科学系统。在大多数情况下，一个系统的工作负载起始于一个单一的过程控制，往往过了一段时间以后，客户的需求会增多。为了通过附加的过程控制提升整套设备的功能，SURFACE公司认识到需要用完整的模块化概念来解决这个问题。
从向市场提供单一的腔体加上负载锁，一直到提供更多的扩展，而不需要冒任何将来转换而产生的风险。

可以方便客户的细节：

1、转换过程有照相机支持

从开始我们的束工具生产，我们就决心让使用设备变得更加简便。最早我们使用了一个独立的监视器，连接一台独立的BW照相机。为了实现自动化，增加了第二个TTL监视器来观测实时的彩色照片和相关的其他过程数据。尤其是当我们的激光加热系统应用以后，另外一台显示器对显示实际得图表和数据非常有用。毫无疑问，所有的照片都能够被实时地存储在过程控制系统的硬盘驱动器上。

2、整套系统的紧凑安装

实验室里的空间是昂贵的，所以任何空间都必须被非常有效地使用。SURFACE公司从一开始就设计将激光放置在控制箱的顶部，并可将其他的激光气舱加入这一过程。
将气舱整合到这个配置里面将使安装变得非常容易和迅速。
这种节约成本的设计克服了PLD安装之前昂贵的本地安装——所有项目都被包括在SURFACE的交货中。
气舱通过一个大的方便的管子与客户端的排气设备相连接。

3、 SURFACE公司的交货与交钥匙工程

这方面包括从SURFACE公司将系统直接运来（这些设备的生产基地都是在西欧及周边地区）。运输到客户的卸载地点是关键。但SURFACE公司帮助，甚至客户实验室的建设。客户只需要提供当地的交通和吊车来将货物运送到设备使用地。所有的运输路线在采购决定之前都会被考察到。

4、 SURFACE公司支持S3处理软件。

S3处理软件提供一个全新的立体支持：一键式操作，客户可以直接与SURFACE的技术支持团队进行沟通。软件使用中的问题和操作中的问题经常会发生，通过完全的远程操控，技术支持人员可以为客户提供设备使用各个阶段的帮助。这将防止一些不必要的困难的发生，并为客户提供快捷的响应。这个支持工具在SURFACE系统中是免费的，客户只需提供正确的网络链接。白光干涉三维轮廓测量仪光学轮廓仪WIVS-I 垂直扫描白光干涉表面轮廓测量仪全光纤多功能研发平台多功能光纤干涉教学实验仪日本原装AVT系列防震平台

白光干涉三维轮廓测量仪

型号：WIVS-Ⅲ型
品牌：
一、用途
（1）二、三维表面形貌测量（2）膜厚和台阶测量
（3）刻线和沟槽尺寸测量（4）任意曲面形貌测量
（5）球面和非球面轮廓非接触测量（6）MEMS器件三维尺寸测量
（7）微光学元件测量
二、仪器构成
（1）宽带光干涉显微镜（2）垂直位移扫描工作台
（3）摄像及图像处理系统（4）工控机
三、测量原理
（1）相移扫描干涉（PSI）（2）垂直扫描白光干涉干涉（VSI）
四、性能指标（基本配置）
（1）垂直测量范围 0～50μm （2）垂直分辨率 1nm
（3）测量区域 0.32mm×0.24mm （4）显微镜数值孔径 0.4
（5）显微镜放大倍数 25× （6）光学分辨率 0.5
（7）表面反射率 1％～100％（8）CCD有效像素 768×576
（9）扫描速度 5μm/s
注：用户可根据需要选择不同放大倍数的显微镜，10×、25×、40×、60×可选择。
五、软件及功能
1 虚拟仪器操作界面，包括：
（1）取样长度选择；（2）评定长度选择；
（3）取样长度内采样点数选择；（4）测量速度选择；
（5）传感器量程的选择；（6）传感器定标。
2 滤波选择
（1）最小二乘中线（面）方法；（2）算术平均中线（面）方法；
（3）多项式方法；（4）高斯方法。
3 评定参数
（1）国家标准6个评定参数；
（2）ISO4287 43个评定参数；
（3）国际上推荐的14个三维评定参数。
4 图形
（1）二维图形，包括原始轮廓曲线、不同滤波方法滤波后轮廓曲线、tp曲线等；
（2）三维图形，包括：轴测图、倒置图、等高图、等截距截面图、面支撑率图、灰度图等。
5 形状误差、波度、表面粗糙度分离评定软件。