L4513、L4514系列高温扩散炉:L651511-1-C/RZQ型单管氢气炉

更新时间：2026-04-22 16:14:42

供应L4513、L4514系列高温扩散炉

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型号：L4513、L4514
品牌：奥博
L4513、L4514系列高温扩散炉

　　用于半导体器件的扩散、氧化退火、烧结等工艺设备，也可做为磁性材料的烧结工艺，还可适用于机械行业的淬火、冶金业稀土的烧结工艺。
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型号：L651511-1-C/RZQ
品牌：奥博
L651511-1-C/RZQ型单管氢气炉

主要技术指标：
1、炉管形式：马蹄型
2、炉膛尺寸：（长×宽×壁高×高）915×140×120×140毫米
3、炉内温度：最高温度：1350℃
　　　　　　工作温度：1300℃
4、温度误差
当周围环境温度为20±5℃（热带型为27±5℃），相对温度在80%以下时（热带型为95%以下时，不超过满刻度毫伏值之±1.5%，当炉温升到1000℃以上时，必须用光学高温计与炉上的毫伏指温计进行校正。
5、最大消耗功率：16千瓦
6、电源：交流220（+10-15）%伏；50赫兹，单相
7、气体压力及消耗量
（1）氮气：开始加温时通入，表压为0.4大气压（40530帕），消耗量约（1-1.2米3/小时），降温时，300℃以下使用，压力及消耗量同前。
（2）氢气：表压为150毫米水柱高；消耗量约（0.6-1.2米3/小时）。
（3）水煤气：表压为0.1大气压（10132.5帕）；消耗量约（0.5米3/小时）。
（4）冷却水：表压为（4个大气压）405300帕出口处温度40～60℃消耗量约（0.8米3/小时）。
8、正常升温时间：约20~24小时
（初试车或长时间停车后升温时间按规程进行约100～120小时）
9、正常降温时间：从工作温度降至300℃约16～20小时。
10、温度控制方式：手动和自动两种。
11、外廓尺寸：长×宽×高….. 4000×1050×1730毫米
12、重量：约1200公斤