单双管卧式真空烧结炉L4611Ⅱ-C/RZQ:L65614-64J/RZQ全功能微控扩散系统

更新时间：2026-02-02 11:57:07

供应单双管卧式真空烧结炉L4611Ⅱ-C/RZQ

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型号：L4611Ⅱ-C/RZQ
品牌：奥博
单双管卧式真空烧结炉L4611Ⅱ-C/RZQ

主要技术指标：
产品名称：平行双工位真空烧结炉
规格：内φ130?×1100mm
最高使用温度：1200℃
工作温度：1150℃
真空室等温区长度：≥400mm
等温区温度均匀度：（1150℃）±3℃
单点控制精度：±2℃/24小时
升温功率：≤16KW
保温功率：≤8KW
开机重复性：±3℃
冷态真空度：6.3×10-3Pa
炉体移动速度：≥2米/分钟
炉体定位精度：≤±2毫米
升温时间：≤60min（加载后至恒温时间）
降温时间：≤60min（工件出炉温度≤100℃）
充气压力：≤0.2Mpa
供电方式：三相五线 380V±10%　50Hz
单工作室有效负载重量：≥6kg（指工件及模具重量）
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供应L65614-64J/RZQ全功能微控扩散系统

型号：L65614-64J/RZQ
品牌：奥博
L65614-64J/RZQ全功能微控扩散系统

该系统是生产半导体器件和大规模集成电路的重要设备。
1、系统组成：a)扩散炉主机　b)推拉舟及层流净化台　c)气源柜　d)排毒柜　e）微机控制柜
2、扩散炉管数：1～4管/台
3、炉管内径：φ90?×240mm
4、恒温区长度：≤600mm±1℃(300～800℃）　≤600mm±0.5℃(800～1250℃）
5、单点稳定性：±1℃/24h(300～800℃）　　±0.5℃/24h(800～1250℃）
6、气源路数：≤6路
7、气源控制：MFC或浮子流量计
8、推拉舟行程：最大1500mm
9、推拉舟速度范围及精度：（1～1000）± 3mm/min
10、推拉舟位置控制精度：≤3mm
11、冷却方式：水冷+风冷
12、微控部分采用STD总线功能模板
　　a)主CPU板：8031+32ROM+8KRAM+总线接口部件
　　b)信号调理板：完成对温度过程的采样、放大及高精度A/D的转换
　　c)人机界面板：接收键入信息管理，并配置9”液晶显示
　　d)推拉舟接口板：输出推拉舟速度值，完成舟位置检测，输出推拉舟的运动指令
　　e)MFC接口板：输出MFC设定值，将MFC的流量信息采入计算机
　　f)可控硅控制及形状量输出板：完成与可控硅触发及开关量放大驱动器接口等功能
　　g)键盘：采用标准键盘或专用小键盘
　　h)电源板（非STD总线板）
　　i)可控硅触发板：完成可控硅的过零触发或移相触发驱动(非STD总线板)
　　j)开关量驱动板：完成由STD总线板的数字信号(TTL电平)的转换、放大，用于驱动气路阀（非总线板）
　　k)推拉舟驱动部分：接收总线板输出的推拉舟速状态指令，并将位置转换成标准信号输出，有手动自动转换
13、微机控制特点：
　　a)工艺温度段数：1～14段，可选段运行
　　b)单段时间范围：1～1080分钟/斜变段　　1～9999分钟/恒温段
　　c)三个温度测控回路独立修正温度测量值 d)三个温度测控点独立修正温度测量值
　　e)PID参数，温度修正量可在线修改 f)温度设定单位：℃　分辨率：0.1℃
　　g)工艺段时间设定单位：min，分辨率：1min h)各类工艺数据断电后长期保存
　　i)工艺气体流量，推拉舟运动状态由微机实行闭环控制 j)中文显示各类提示信息
k)各类输入信息采用填表方式完成，条例清楚，逻辑合理