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产品型号： | DM-CVD |
| 产品品牌： | 上海 | |
| 产品价格： | 面议 | |
| 所 在 地： | 北京 朝阳区 | |
| 发布日期： | 2020-07-10 | |
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详细说明
产品名称：DM-CVD 石英管式微波等离子体装置
主要配置：
1、微波频率2.45GHz；足额功率0～500W（基本型）或0～1000W（升级型）连续可调，阳极高压、阳极电流足额显示；
2、Φ50mm（基本型）或Φ90mm（升级型）石英管真空室，有一个观察窗和一个诊断窗；
3、石英管采用制冷循环水冷却，保证装置安全运行。
4、配有真空测量及控制阀门系统；3路工作气体流量控制；