linetech气体质量流量计

	产品型号：	M2500VA
	产品品牌：	linetech
	产品价格：	面议
	所 在 地：	北京 西城区
	发布日期：	2015-08-26

详细说明

产品简介：
韩国linetech气体质量流量计耐压90bar，可测量腐蚀性气体，结构紧凑，重复性高，响应时间快，性价比高，可广泛用于设备配套。韩国LINETECH经济型气体质量流量控制器最大流量可测到300SLPM，质量流量计的最大流量可测到1000SLPM。
一、linetech气体质量流量计产品特点
• 测量质量流量
• 无需温度和压力补偿
• 结构紧凑
• 精度高
• 工作压力高
• 响应时间快
• 重复性高
二、linetech气体质量流量计技术参数
型号             质量流量计             质量流量控制器
流量范围(N2)   10SCCM~1000SLPM   10SCCM ~ 300slpm
响应时间       <2 sec               <2 sec
精准度               ≤±1% FS               ≤±1% FS
重复精度      ±0.25% FS               ±0.25% FS
输入/输出信号     0~5 Vdc OR 4~20 mA   0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电源  ±15 Vdc or 24 Vdc,350mA  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
耐压               <90bar          0-30SLPM，<90bar;
                                         30-100SLPM,<70bar,
                                         100-300SLPM,<15bar
工作环境温度     0~50 °C               0~50 °C
漏率            1*10E-9 atm cc/sec   1*10E-9 atm cc/sec
使用范围      2 ~ 100%               2~ 100%

三、linetech气体质量流量计接口尺寸