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六腔独立控制晶圆充氮烘箱,旦顺无氧烘箱


六腔独立控制晶圆充氮烘箱,旦顺无氧烘箱
产品型号: ANN-6D
产品品牌: 上海旦顺
产品价格: 86000元/台
所 在 地: 上海 奉贤区
发布日期: 2019-02-27

详细说明

六腔独立控制晶圆充氮烘箱,节省空间!操作便捷!
上海旦顺实业有限公司,专用烘箱设备制造商。每台烘箱都严格按照标准,做工精致!烘箱性能稳定!此款烘箱适用于半导体行业!
一、充氮无氧烘箱特点:
  1..全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;
  2..适合于无尘室环境中使用
  3. 日本富士P.I.D智能温控仪表,操作便捷!
  4. 六个腔体独立控制,节省空间,操作方便!
  5. 全不锈钢材质,外观精致美观!
二、充氮无氧烘箱主要参数:
 1. 产品型号及名称:充氮无氧烘箱 ANN-6D
 2. 规格尺寸:工作尺寸:W450*H380*D450(6腔体)
 3..温度范围:RT+10℃~250℃,40-45分钟(空箱测试)。
 4. 温度控制:精度±0.5%;
 5. 温度均匀:±2% (空箱测试)
 6. 功    率:18KW
 7. 降    温:采用风冷降温方式
 8. 加 热 器:特质复合式SUS304#不锈钢无尘电热产生器
 9. 保温材质:120K级高密度硅酸铝纤维填充,保温层厚度为100mm
 10 每个工作腔配置独立的氮气流量计。
 11.温控系统:
温控装置:富士P.I.D智能温控仪表, LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、八段程
序控制(六套)。
    温控输出:SSR输出,欧姆龙继电器,固态继电器。
    测温装置:1支PT100铂电阻温度传感装置,测温精确。
    定时装置:HS48S-99.99定时仪表。
 12.完善的安全保护措施:
炉门自锁装置//漏电断路器//超温保护//超时报警//马达过载电流保护//机台异常蜂
鸣器警示
公司名称:上海旦顺实业有限公司