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自动变焦三维表面测量仪


自动变焦三维表面测量仪
产品型号: InfiniteFocus
产品品牌: Alicona
产品价格: 面议
所 在 地: 北京 海淀区
发布日期: 2015-12-29

详细说明

仪器介绍:
InfiniteFocus 是微纳米级质量保证的光学3D测量仪,它的操作原理是小景深的光学系统与垂直扫描相结合,利用焦距变化提供形貌和色彩信息。新颖独特的运算法则把它重建成包含精确形貌信息的独立的3D数据集,可追踪的校准标准可以验证测量结果。

综合分析性能??表面测量与表征:
1. 形貌分析
2. 面积分析
3. 结构分析
4. 体积分析
5. 2D图像分析

主要特点:
1. 测量非常陡峭的斜面
2. 登记真实的颜色信息
3. 测量具有强反射性的表面
4. 测量非常粗糙的表面

技术参数:
垂直分辨率:10nm 
水平光学分辨率:400nm 
水平样品距离:90nm 
最大扫描高度:22mm 
最大扫描面积:100mm x 100mm